Michelson-Interferometer Konfigurationen

Standard

In der Standardkonfiguration eines PICOSCALE Sensorkopfes, ist der Referenzspiegel auf eine der Seitenflächen des Strahlteilerwürfels beschichtet.

 

Frontreferenz - Blick um die Ecke

Als Variante kann der Strahlteiler auf die Frontfläche des Strahlteilerwürfels aufgebracht werden. Dies kann in Setups mit bestimmten Platzbeschränkungen von Vorteil sein, da der Sensorkopf "um die Ecke schauen" kann.

Externe Referenz - Differenzmessungen

Eine andere Variante der PICOSCALE Sensorköpfe hat überhaupt keinen Referenzspiegel. Für Michelson-Interferometer ist das einzigartig und ermöglicht die Durchführung differenzieller Messungen von zwei Zielen mit mehreren Vorteilen. Bitte beachten Sie auch unseren vorjustierten Differentialmesskopf: Lesen Sie mehr...

 

SmarAlign-Fenster

Der Standard-Sensorkopf PICOSCALE C01 verfügt über einen Anschluss des Strahlteilers, der nicht für Interferometer-Zwecke verwendet wird. Typischerweise hat dieser Teil des Balkenteilers eine grobe Schleifung, so dass man ihn als Ansichtsfenster für die Ausrichtung verwenden kann (siehe Schaltplan). Diesen Ansichtsport nennen wir im Folgenden SmarAlign-Fenster.

Wenn der Pilotlaserstrahl des PICOSCALE aktiviert wird, kann das sichtbare Licht verwendet werden, um den Ausbreitungsweg zum Zielspiegel sowie dessen Reflexion zurück zum Sensorkopf zu verfolgen. Wenn der reflektierte Strahl auf den Sensorkopf trifft, kann man zwei Stellen im SmarAlign-Fenster sehen. Durch Feinjustierung des Spitzen-/Neigungswinkels des Sensorkopfes können diese beiden Spots überlappt werden, was zur Interferenz der beiden Strahlen folgt.

Alignment not good; two spots are visible Alignment good; only one spot visible

Vorteile der Michelson-Interferometer

Michelson-Interferometer haben mehrere Vorteile in Bezug auf die Genauigkeit und Flexibilität der Verschiebungserfassung.

Erfahren Sie mehr in diesem Artikel: Vorteile von Michelson-Interferometern im Vergleich zu anderen Architekturen

Einfache Ausrichtung