SHL-3D5N-5 - High Load Stage

Ein 3DoF-Positioniersystem, das unabhängig von seiner Montageausrichtung hohe Nutzlasten von bis zu 5 N über einen Bereich von 5 mm heben kann.

Der SHL-3D5N-5 ist ein auf einem parallelkinematischen Design basierender Hubtisch. Er ist darauf ausgelegt, 500g Gewicht unabhängig von der Ausrichtung der Stage zur Schwerkraft zu heben. In Kombination mit Encodern für direktes Positionsfeedback und einer Closed-Loop-Regelung prädestiniert das die Stage als Nanometer-präzisen Endmanipulator für Roboterarme oder ähnliche Anwendungen.

Step-file_SHL-3D5N-5

Jun 26, 2019

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Spezifikationen

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PDF-Download	Mechanical
Mechanical
Degrees of Freedom	3
Travel [mm]	5
Max. Lift Force [N]	5 (in all directions)
Dimensions [mm]	100 x 140 x 40
Weight [g]	650
	Open-loop
Open-loop
Velocity [mm/s]	> 5
	Closed-Loop
Closed-Loop
Sensor Resolution MCS2 [nm]	1 (S), 4 (L)
Uni-Directional Repeatability MCS2 [nm]	± 40 (S,L)
Sensor Resolution (H)CU [nm]	100 (L)
Uni-Directional Repeatability (H)CU [nm]	± 200 (S,L)
	Options
Options
Material Options	Aluminum as standard; Steel base (-ST); Titanium base (-TI); Black anodized (-BK)
Vacuum Options	HV (1E-6 mbar); UHV (1E-11 mbar)