Mit der zunehmenden Digitalisierung unseres Alltags gewinnt die Zuverlässigkeit von Halbleiterbauelementen immer mehr an Bedeutung. Um die Zuverlässigkeit zu verbessern, ermittelt die Halbleiter-Fehleranalyse den Grund für beobachtete Ausfälle bei Lebensdauertests und speist diese Informationen in den Produktionsprozess ein, um den Fehler zu korrigieren.
In der Kette der Analysemethoden der Fehleranalyse ist das Nanoprobing ein Schlüsselelement bei der Bestimmung elektrischer Defekte. Es kann zur Charakterisierung einzelner Transistoren und p/n-Übergängen sowie offener und kurzer Schaltungen in Leitern verwendet werden. Der Nanoprober wird in der Regel in ein Rasterelektronenmikroskop (SEM) eingebaut, um die Wolfram-Nanosonden an die zu untersuchende Stelle zu bringen. Der SMARPROBE Nanoprober wurde entwickelt, um diesen Prozess so effizient und mit so wenig Auswirkungen auf das zu prüfende Gerät wie möglich zu gestalten.
