Der SMARPROBE LX bringt Nanoprobing auf ein neues Niveau in Bezug auf Effizienz und Stabilität. Es ermöglicht die nanometer-präzise Closed-Loop-Positionierung von bis zu acht Messnadeln zur Analyse oder Manipulation von z. B. 5 nm-Transistoren. Das Probingsystem integriert sich problemlos in ein Elektronenmikroskop oder in ein Lichtmikroskop zur atmosphärischen Untersuchung großer Proben.
NanoProber
Elektrische Charakterisierung von Halbleiterbauelementen.
