SOM-MS-808030

Der SOM-MS-808030 ist der größere der Mikroskopietische von SmarAct, der eine vertikale Verfahrrichtung bietet. Der Verfahrbereich auf der X- und Y-Achse beträgt 51 mm und auf der Z-Achse 16 mm. Die Abmessungen der SOM-MS-808030 betragen 138 mm in Länge und Breite und 43,8 mm in der Höhe. Da die SOM-MS-808030 auf den Linearpositionierern der SLC-Serie von SmarAct basiert, bietet sie höchste Wiederholgenauigkeit im geschlossenen Regelkreis und eine Auflösung im Nanometerbereich.

Die Grundplatte ist Breadboard-kompatibel. Deckelplatten sowie die SOM-MS-808030 selbst sind in hohem Maße anpassbar.

  • Technical-Drawing_SOM-MS-808030
    Jul 28, 2023
  • Step-file_SOM-808030
    Jul 25, 2023

Spezifikationen

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Mechanical
Travel [mm] 51 (X); 51 (Y); 16 (Z)
Max. Lift Force [N] 1,8
Dimensions [mm] 138x 138 x 43,8
Weight [g] 565
  Open-loop
Open-loop
Open-Loop Resolution [nm] <1
  Closed-Loop
Closed-Loop
Velocity [mm/s] > 8
Sensor Resolution MCS2 [nm] 1 (S) 4 (L)
Uni-Directional Repeatability MCS2 [nm] ±80 (S), ±160 (L)
Sensor Resolution (H)CU [nm] 100 (L)
Uni-Directional Repeatability (H)CU [nm] ±1000 (L)
  Options
Options
Material Options Aluminum base as standard; Black anodized (-BK)
Vacuum Options Upon request
Non-Magnetic Option Upon request

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