Das SMARPROBE SP4 ist ein Probingsystem mit bis zu 4 Manipulatoren, während das SMARPROBE SP8 mit bis zu 8 Manipulatoren ausgestattet ist. Jeder der Manipulatoren hat 3 Freiheitsgrade und ist mit optischen Encodern mit Auflösungen von 1nm für hochpräzise elektrische Abtastungen ausgestattet. Intelligente Positionierungsroutinen, die in der speziellen Steuerungssoftware implementiert sind, und die Möglichkeit, bis zu vier REM-Probenhalter zu laden, erhöhen den Bedienungskomfort und den Gesamtdurchsatz bei allen Nano-Sondierungsaufgaben. Das robuste mechanische Design gewährleistet höchste Stabilität und einfache Bedienung. Die Probingsysteme sind mit einer Vielzahl von FIBs, REMs und Lichtmikroskopen kompatibel und eignen sich daher perfekt für die Nachrüstung bestehender Probingsysteme und für die Integration in neue Instrumente. Die SMARPROBE-Sondiersysteme ermöglichen elektrische Charakterisierungstechniken von 2-Kontakt-EBIC/EBAC bis hin zu 4- und 6-Punkt-Probingmessungen, was die SMARPROBE zu einem unentbehrlichen Werkzeug für Ihr Fehleranalyselabor macht. Darüber hinaus können Sie die L-Erweiterung für eine Temperaturregelung im geschlossenen Regelkreis mit mehreren Sensoren hinzufügen. Durch Hinzufügen dieser Option zu Ihrem SMARPROBE-System können extrem niedrige Werte für den thermischen Drift erreicht werden.

¹ Distanz, die ohne Stick-Slip-Ereignisse des Positionierers zurückgelegt werden kann. Der Betrieb des Probers innerhalb seines Scan-Bereichs trägt zur Minimierung von Vibrationen bei. Der Scanbereich kann mit der optionalen X-Verlängerung auf 10 µm vergrößert werden.

² Abhängig von den Betriebsbedingungen, für einen thermischen Drift <1 nm/min