Closed-Loop Nanoprobing der nächsten Stufe

Außergewöhnliche Merkmale

  • Closed-loop Positionierung mit 1 nm Auflösung
  • Aktives Halten der Position
  • Großer Scanbereich und geringer thermischer Drift
  • Großflächiges Probing auf vollen 25 x 25 mm
  • Hochgeschwindigkeits-EBAC/EBIC-Abbildung

 

Effiziente und einfache Handhabung

  • All-in-One-Benutzeroberfläche
  • Automatische Landung und Zusammenführung aller Sonden
  • "Point & Click"-Navigation innerhalb des SEM-Bildes
  • Gruppenbewegungen und "Step & Repeat"
  • CAD-Navigation für Probe und Nadeln

Produktpräsentation

Anwendungsbeispiele

Eine Übersicht aller Anwendungshinweise finden Sie hier.

Nanoprobing von 5 nm Technologieknoten

Mit dem SMARPROBE System können aufgrund der hohen Präzision der SmarAct-Antriebe und der aktiven Temperaturregelung, die einen geringen thermischen Drift der Sonden ermöglicht, auch kleinste Technologieknoten geprobt werden.

Die Positionierung im geschlossenen Regelkreis ermöglicht es dem Benutzer, die Spitzen in sehr kurzer Zeit und mit möglichst geringer Elektronenstrahlexposition an den Point-of-Interest zu positionieren. Durch die sichere Annäherungsbewegung und den großen Scanbereich wird das Risiko einer Beschädigung der Spitzen und der Probe bei der Feinpositionierung verringert. Die daraus resultierende Langlebigkeit der Spitzen in Verbindung mit der Möglichkeit, mehrere Proben zu laden, gibt Ihnen die Möglichkeit, den Probendurchsatz erheblich zu verbessern.

Elektronenstrahl-Absorptionsstrom (EBAC)

Das SMARPROBE-System kann mit einem Stromverstärker aufgerüstet werden, der direkt in die Nadelhalterung integriert ist.  Der kurze lokale Abstand zwischen Sonde und Verstärker garantiert geringstes Messrauschen und hohe Messbandbreiten. Mit nur einem Klick ist es möglich zwischen Nanoprobing und EBAC/EBIC zu wechseln. Die Stromverstärkung wird typischerweise für Fehleranalyseverfahren wie Electron Beam Absorbed Current (EBAC) oder Resistive Contrast Imaging (RCI) verwendet, um Unterbrechungen oder Kurzschlüsse in Metallleitungen oder VIAs zu lokalisieren. Das Bild zeigt ein Beispiel für die Analyse des Metallleitungsnetzes mit EBAC.

Wichtige Spezifikationen

Der Nanoprober von SmarActs ist in verschiedenen Konfigurationen und mit mehreren Optionen und Anpassungsstufen erhältlich. Die folgende Tabelle gibt einen Eindruck von den wichtigsten Spezifikationen. Für jedes Produkt der SMARPROBE-Familie steht im Downloadbereich ein detailliertes Spezifikationsblatt zur Verfügung.

SMARPROBE Nanoprober
 
Manipulator mit Nadelhalterung XYZ-Closed-Loop
Anzahl der Manipulatoren ≤ 8
Probenpositionierer XYZ-Closed-Loop
Abtastbereich [mm] 25 x 25
Scan-Bereich in XYZ1 [μm] > 10
Thermischer Drift2 [nm/min] < 1
Reinigung Kompatibel mit Plasmareinigung
Nadelhalterung3 Standard-Wolframsonden mit einem Durchmesser von 0,25 mm
Elektrischer Anschluss4 Koaxialkabel

1 Distanz, die zurückgelegt werden kann, ohne dass es zu Stick-Slip-Ereignisse des Positionierers kommt. Der Betrieb des Probers innerhalb seines Scan-Bereichs trägt zur Minimierung von Vibrationen bei. Der angegebene Scan-Bereich ist mit der optionalen X-Extension verfügbar.

2 Mit der optionalen L-Erweiterung

3 Optional mit Autotouch und in-situ Stromverstärker erhältlich

4 Auch mit Triax-Anschluss erhältlich