SmarAct bietet hochpräzise Positionierlösungen für alle Spitzentechnologien der Materialwissenschaft. Ob hochauflösender 3D-Druck, Elektronen- oder Rastersondenmikroskopie, Nanoindentierung, Spektroskopie, Diffraktometrie oder Quantencomputing - Industrie-, OEM-Kunden und Forschungseinrichtungen vertrauen auf die Expertise von SmarAct.
Die modernen Techniken der Materialfoschung, -herstellung und -prüfung gehen häufig mit speziellen Umgebungsbedingungen wie der Existenz von Teilchenstrahlen, starken Magnetfeldern, harter Strahlung, kryogenen Temperaturen oder Ultrahochvakuum einher. Unsere hochpräzisen Positioniersysteme und Messkomponenten können daher an nahezu jede Anwendungsanforderung angepasst werden. Hierzu gehören beispielsweise nichtmagnetische Positionierer für den Einsatz im REM und TEM oder Closed-Loop-Positionierer für den Betrieb bei kryogenen Temperaturen.
Da wir sämtliche Komponenten unserer Produkte im eigenen Haus entwickeln, ist SmarAct in der Lage, Ihnen die optimale und effizienteste Lösung für Ihre Anforderungen zu bieten. Dabei ist es unerheblich, ob Sie mit einem Projekt neu beginnen, eine Aufrüstung Ihrer Anlage planen oder eine individuelle Lösung für Ihr Labor oder den Großserieneinsatz suchen.
Wir freuen uns darauf, Sie dabei zu unterstützen, mit Ihrem Projekt das nächste Level zu erreichen.
Anwendungsbeispiele
Enhancing X-ray Dark-Field Imaging with Tunable Interferometry
Die Röntgen-Dunkelfeldbildgebung ist eine neuartige Technik, die die Visualisierung von Strukturen ermöglicht, die über die herkömmliche Auflösungsgrenze der Röntgenradiographie und -tomographie hinausgehen. Dieses Beispiel zeigt ein Dual-Phase-Grating-Interferometer (DPGI), das Moiré-Muster auf einem Röntgendetektor erzeugt. Veränderungen im Musterkontrast, die durch die Probe verursacht werden, liefern Informationen über die durch Submikrometer-Strukturen induzierte Kleinwinkelstreuung. Ein wesentlicher Vorteil des DPGI ist seine Abstimmbarkeit: Durch die Anpassung des Abstands zwischen den beiden Gittern wird die Empfindlichkeit auf unterschiedliche Merkmalsgrößen verschoben, wodurch eine Submikrometer-Charakterisierung von Proben im Zentimeterbereich ermöglicht wird. In diesem Aufbau steuern vier SmarAct-Tische die Gitterausrichtung, die Phasenverschiebung und den Abstand zwischen den Gittern und ermöglichen so eine präzise Ausrichtung und eine abstimmbare Systemempfindlichkeit.
4D Scanning Transmission Electron Microscopy
Die 4D-Rastertransmissionselektronenmikroskopie (4D-STEM) ist eine leistungsstarke Technik zur Kartierung von Materialeigenschaften wie Kristallsymmetrie, Gitterparametern und Dehnung. Ein fokussierter Elektronenstrahl scannt eine elektronentransparente Probe, während an jeder Position ein Beugungsmuster aufgezeichnet wird, was eine hochauflösende Analyse ermöglicht. 4D-STEM ist an Standard-REM anpassbar und eignet sich gut für dünne Proben wie 2D-Materialien und 2D-ähnliche Van-der-Waals-Heterostrukturen, wobei es eine Auflösung im Sub-Nanometerbereich über Scanflächen von mehreren mm² bietet. In diesem Beispiel wurde ein SMARPOD 110.45.2 für die Probenpositionierung mit sechs Freiheitsgraden und ein SmarAct-Lineartisch zur präzisen Einstellung der Kameralänge in ein internes System integriert, was eine schnelle und hochwertige Datenerfassung ermöglicht.
The Art of SEM Imaging
Das Leipziger Panometer präsentiert in einem ehemaligen Gasometer beeindruckende 360°-Panoramen, die vom Künstler Yadegar Asisi geschaffen wurden. Seit Januar 2019 entführt die Ausstellung „Carolas Garten“ die Besucher in einen Mikrokosmos und zeigt Blumen und Insekten aus der Perspektive eines hundertfach vergrößerten Pollenkorns. Der wissenschaftliche Fotograf Stefan Diller trug dazu bei, indem er Rasterelektronenmikroskop-Bilder (REM) einer Honigbiene und einer Kamillenblüte anfertigte. Diese Bilder bilden eines der weltweit größten Rundbilder (110 × 32 m), für das eine extrem hohe Bildauflösung erforderlich ist. Da die herkömmliche Makrofotografie nicht ausreichte, wurde ein TESCAN MIRA3 FE-SEM mit einem Multi-Detektor-Setup und einem SmarAct-Acht-Achsen-SEM-Piezotisch verwendet. Der SmarAct-Tisch ermöglichte eine nanometergenaue Positionierung und Kachelaufnahme, um das endgültige gestitchte Panorama zu erstellen.
6D System for the µRobotex Platform
Die μRobotex-Plattform ist eine Einrichtung, die sich der Charakterisierung und Mikroassemblierung von Mikro-/Nanosystemen mit Abmessungen unter 10 μm widmet [1]. Sie befindet sich an der École nationale supérieure de mécanique et des microtechniques (ENSMM) in Besançon und wird von der Abteilung AS2M des Instituts FEMTO-ST verwaltet.
Das μRobotex-Team beauftragte SmarAct mit der Konstruktion eines 6D-Systems mit Positionsrückmeldung für die Handhabung von Werkzeugen in einem Rasterelektronenmikroskop. Das Positionierungssystem besteht aus zwei aufeinander montierten 3D-Subsystemen. Das erste besteht aus zwei Stufen der SLC-Serie und einer Stufe der SLL-Serie, das zweite aus zwei Goniometern und einer Drehstufe, um Nanowerkzeuge in sechs Freiheitsgraden manipulieren zu können.
Das µRobotex-Team steuert das Positionierungssystem über sein eigenes Echtzeit-Steuerungssystem.