SmarAct Metrology 提供一系列尖端产品,包括高精度干涉仪、光学编码器和测振仪,可满足最严苛的测量挑战。我们的技术专为实现超高精度而设计,既可作为标准解决方案,也可作为 OEM 解决方案,为先进研究和工业应用领域的创新提供动力。
皮米级干涉仪,用于非接触式高精度位移测量。
皮米尺度振动计,用于小型样本的模态分析。
METIRIO® 系列提供极度紧凑的光学编码器,具备亚纳米级分辨率。
半导体器件的电气特性分析。