纳米探针

得益于其全闭环控制运动系统，SmarProbe能够实现无与伦比的定位重复性和稳定性——即便在纳米尺度下亦然。这消除了探测过程中的漂移、手动修正和猜测，使复杂测量更快、更可靠且高度自动化。这正是闭环控制的意义所在——也是其与众不同的关键所在。

• 对所有可用节点进行半盲探针检测
• 自动探针定位与对准
• 覆盖完整30×30毫米区域的大面积探测
• 高速EBAC/EBIC成像
• CAD导航功能
• 一体化用户界面
• 原位样品清洁