径向跳动和摆动测量

本应用说明介绍了PICOSCALE干涉仪在测量旋转物体（如主轴或同步辐射样品夹持器）的径向跳动和摆动方面的作用。这些测量对于需要精确旋转对准的应用至关重要，尤其是在高精度工程和基于同步辐射的断层扫描领域，其中样品定位必须精确以确保数据准确性。

问题：在同步辐射终端站等精密应用中，旋转系统中的径向跳动和摆动会影响测量和成像质量，可能导致晶体断层扫描或其他高分辨率技术出现误差。最小化这些旋转不准确性对于确保样品定位和材料检测等任务的高质量结果至关重要。

解决方案：配备专用传感器头的PICOSCALE干涉仪被用于测量圆柱形目标的径向跳动和摆动。通过使用线聚焦传感器头，该系统可精确捕捉径向位移和角度偏差，实现旋转系统中摆动和跳动的实时测量与校正。该方法利用了PICOSCALE亚纳米级精度及对不同圆柱表面适应性强的特点。

实施：测试装置包含一个安装在SmarAct XY舞台和旋转舞台上的抛光钢制圆柱体。XY舞台可进行受控偏心调整以模拟或校正较大径向跳动。两个线聚焦传感器头正交布置以捕捉偏心度，而第三个传感器跟踪摆动。通过增量旋转并记录每个角度的位移，系统计算偏心度并应用必要调整以维持样品的旋转精度。

结果：PICOSCALE干涉仪成功跟踪了高达1毫米的偏心量，并检测到±1.5微米的摆动，有效证明了其在高精度应用中的能力。该系统能够准确捕捉大位移并保持在不同气缸直径下的稳定性，证实了其在各种圆柱形配置中的通用性。该方法适用于需要严格控制旋转运动的任务，进一步巩固了PICOSCALE在高精度工程和同步辐射应用中的实用性。