PICOSCALE 振动计的关键特性

• 基于光学的非接触测量
• 亚皮米级灵敏度的扫描激光振动计
• 直流至5兆赫兹测量带宽，10兆赫兹采样率
• 集成红外共聚焦显微镜，光学分辨率达2微米
• 支持平面外（与激光束平行）及平面内（与激光束垂直）方向的百万像素振动模式成像
• 可对硅、玻璃、水等（半）透明材料进行表面及透射测量
• 封装MEMS的振动特性表征
• 配备振动台及软件的整套交钥匙仪器

SmarAct PICOSCALE振动计基于成熟的迈克尔逊干涉仪原理，是广受欢迎的激光多普勒振动计的替代方案。在此光学系统中，相干激光束经分束器分为两路，每束光先经参考镜和目标镜反射后再重新合束。生成的干涉图样精确记录了位移或折射率变化引起的光程变化，这些变化可直接转化为亚皮米级精度的非接触式振动测量数据。

通过对干涉定位信号进行傅里叶变换，系统能将最复杂的振动分解为独立频率分量，从而精确测定振动幅值、相位及频率，深入解析微结构与材料的动态行为。

结合SmarAct先进的控制与分析软件，PICOSCALE振动计实现了无与伦比精度的非接触式光学振动测量。这使其成为MEMS测试、传感器表征、微流体技术等众多领域的理想解决方案。

在激光扫描振动测量技术中，聚焦激光束可对样品表面进行非接触式振动测量，从而精确分析其动态行为。当物体开始运动时，高阶弯曲模态会形成复杂的振动模式。这些现象对MEMS器件、传感器及执行器的设计与优化至关重要。

通过模态分析，PICOSCALE振动计可捕捉并以二维或三维形式可视化这些振动模式，揭示最大振幅区域与静止节点。这些节点的空间分布定义了每种振动模式，为工程师提供微结构机械性能的关键洞察。通过在样品表面移动激光束，激光扫描振动测量技术可生成完整的高分辨率振动特性图谱，实现皮米级精度的光学振动测量。

更多应用实例请参阅：激光扫描振动测量应用实例

SmarAct的PICOSCALE振动计内置共聚焦显微镜，为（半）透明材料及封装微结构的振动分析提供了独特优势。其共聚焦光学设计结合1550纳米红外测量激光，可对硅、玻璃、水等材料进行表面及穿透式选择性测量，即使在透明层下方也能精确检测振动。该技术使MEMS器件无需拆解封装即可完成分析，在保障敏感元件完整性的同时，仍能获取完整的动态性能数据。该光学显微镜与干涉测量系统实现原生对准，可提供横向分辨率达2微米的完美相关成像与振动数据。由此，PICOSCALE振动计能够对现代微结构进行高精度无损模态分析，是先进MEMS开发及封装传感器诊断的理想解决方案。