精密运动

SmarAct Motion代表着高精度定位解决方案，专为科学和工业领域的苛刻应用场景量身设计。我们先进的驱动系统可实现纳米级精确运动，推动半导体技术、光子学、生命科学、材料科学和高能研究领域的创新。产品组合涵盖压电式、电磁式和挠性式定位系统，从紧凑型单轴平台到复杂的多轴机器人。SMARSLIDE® 压电平台可提供纳米级精度的长行程范围，用于线性、旋转和测角运动，而 SMARSHIFT® 电磁直接驱动装置可实现高速、无间隙定位，用于半导体检测、光学对准和晶片处理。SMARFLEX® 挠性平台为光纤对准、干涉测量和原子力显微镜等应用提供优异的稳定性和精确度。SmarAct 还提供完整的多轴解决方案，如 SMARPOD® hexapods 和 TRIPOD 系统，具有六自由度和极高的精度，是光子集成电路测试、晶片探测和微组装的理想选择。我们的模块化解决方案可与科研和工业无缝集成，确保从量子计算到高通量半导体制造和光学对准等应用领域的精度、可靠性和创新性。