在工业自动化中,只要需要精确定位,就会使用带传感器的轴来确定位置。其应用是多方面的,涵盖范围很广,如半导体工业中的显微镜(SEM、SPM)、晶片探测和封装,激光光学和天文学中的光束稳定和精密对准,医疗技术中的细胞处理和分拣,工业制造中的数控精密加工和坐标测量机,以及超高真空(UHV)和太空旅行中的科学研究。
市场的总体趋势是传感器越来越小、越来越快、越来越精确,传感器的智能化和模块化在各个应用领域发挥着越来越重要的作用。
客户的具体要求包括 测量范围超过一米的纳米级定位精度、真空适用性、低电流消耗、非磁性材料和红外光源的使用、微型化、成本效益以及米/秒范围内的宽带速度。
为了满足持续增长的需求,必须不断开发测量技术。
应用实例
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