面向严苛工业与研究应用的高精度位移测量
PICOSCALE Interferometer 可实现高精度非接触式位移测量，帮助您提升定位精度、稳定关键工艺，并将高分辨率计量集成到严苛环境中。
- 无有源部件，并采用稳定的激光方案，支持免维护且可靠的长期运行
- 广泛的传感器头产品组合，适用于标准和严苛应用
- 超高真空（UHV）、低温、洁净室和辐射敏感环境
- 可对多种目标材料进行测量，从而提升应用灵活性
- 适用于镜面、回射器、金属、玻璃、水等
- 高数据速率，支持实时测量、快速反馈回路和动态运动分析
- 10 MHz 采样率，1 m/s 目标速度
- 易于集成到实验室、工业和 OEM 系统中
- 完整应用程序编程接口访问权限，以及包括 BiSS-C、串行数据和 AQuadB 在内的实时接口
了解 PICOSCALE 如何契合您的应用
无论您需要稳定运动、对多自由度平台进行表征，还是将高分辨率计量集成到 OEM 系统中，PICOSCALE 都能为严苛的位移测量任务提供可靠的非接触式解决方案。
其紧凑型干涉测量设计结合了皮米级分辨率、高数据速率和广泛的环境兼容性，适用于实验室和工业用途。我们的传感器头可兼容超高真空（UHV）、低温条件、强辐射和洁净室等严苛环境。
为支持 OEM 集成和应用特定优化，我们提供稳健的固件模块和多种附件，使其成为一流实验室仪器。PICOSCALE Interferometer 还可作为 OEM 组件集成，为专用工业应用提供定制化解决方案。
规格
关键应用
闭环定位和运动控制
适用于需要在测量关注点获得稳定实时反馈的应用。
6 自由度平台表征和校准
用于精确分析 X、Y、Z、俯仰、偏航、滚转、跳动和摆动。
晶圆定位和掩模对准
适用于对准质量直接影响性能和良率的半导体工艺。
X 射线显微成像中的样品定位
适用于需要精确非接触式测量的高灵敏度装置。
单点振动测量
用于以高时间分辨率检测快速且微小的动态运动。
租赁选项
以更低风险、更快结果开始
评估高精度计量解决方案应当简单直接。借助我们的租赁选项，您可以快速开始使用 PICOSCALE，并将前期投入控制在较低水平。无需立即进行资本性投资，您可以在自己的装置中、自己的条件下，并依据实际应用要求测试该系统。
工作原理
所有 PICOSCALE 产品均基于迈克尔逊干涉仪。该装置通过将相干光源（例如激光）的光分成等量的两部分来测量位移。其中一部分为参考光束，由静止参考反射镜反射。另一部分为探测光束，由运动目标反射。两束光重新合束；基于两部分之间的光程差，干涉图样发生变化，从而能够使用激光和简单光学部件进行高精度位移测量。
您可以访问我们的 技术部分，进一步了解迈克尔逊原理，以及我们为提高该方法的灵敏度和精度而采用的其他技术。
迈克尔逊干涉仪的优势
迈克尔逊干涉仪通过分束和合束来测量极小位移、振动和折射变化，并可实现纳米级或亚纳米级精度，因而具备出色的精密度和可靠性。其多功能性、非接触式运行以及在超高真空（UHV）或低温条件等严苛环境中工作的能力，使其成为计量、光学和先进研究应用中不可或缺的技术。
在本文中了解其相较于其他技术的优势：与其他架构相比，迈克尔逊干涉仪的优势.
