闭环定位系统，具备干涉测量级精度

该应用说明突出了PICOSCALE干涉仪在实现样品皮米级闭环定位方面的能力。通过将干涉仪与SmarAct的模块化控制系统（MCS2）集成，该系统实现了对平移台的精准、低延迟控制，从而解决了高精度制造和研究中的挑战。

关键要点

问题：传统定位系统依赖于集成式位置反馈，而这种反馈通常在距离感兴趣点（POI）较远的位置进行测量。这可能导致无法解释的漂移，从而影响先进应用所需的精度和准确性。

解决方案：PICOSCALE干涉仪可直接测量POI处或附近的位移，提供无与伦比的分辨率和精度。通过将干涉仪与SmarAct的MCS2控制系统结合，可建立实时反馈回路，实现高精度控制且延迟极低。

实现方案

系统配置包括：
一个安装在悬臂上的目标镜，并与PICOSCALE传感器头对齐。
传感器头通过干涉测量方法收集位移数据并传输至PICOSCALE控制器。
控制器处理数据后通过SmarAct SI接口发送至MCS2。
MCS2根据反馈信号驱动SmarAct SLC1730平移台，实现闭环控制，延迟低于100微秒。

结果：该系统成功演示了精确的闭环定位，保持纳米级精度和低延迟反馈。差分测量设置进一步提升性能，通过抑制环境干扰，即使在严苛条件下也能实现高度准确和稳定的定位。