模块化工具

带顶视摄像头的操作模块将 Z 轴、RZ 轴、刀具更换系统和顶视摄像头 (TVC) 集成在一个模块中。

分配器模块可自动涂抹规定数量的粘合剂或焊膏。

久经考验的系统，如六轴并联系统 SmarPods 带有可更换驱动单元的纳米级精度定位器，构成了最高精度机器人模块的基础。

工具存放架上的快换适配器最多可存放四件工具。

底部和侧视摄像头（BVC）由一个摄像头和两个观察方向组成。

托盘模块配备两个支架，用于固定晶圆载具或凝胶包。

特殊模块专为特定流程定制，例如我们用于快慢轴准直的 LensAlignmentModule（FAC [&] SAC）。

托盘存储器为 P50 扩展了自动化工件供给功能，容量最多可达 40 个托盘。这些托盘会根据工件的几何形状和尺寸进行单独调整。通过自动送入加工空间，可确保在较长自主运行时间内实现连续的材料供应。该系统无缝集成到控制软件中，可提高设备生产率，并减少操作人员的手动工作量。