超高真空压电级

SmarAct 的平台和系统不仅完全适用于大气条件下的应用,在某些情况下还适用于更极端的环境,如高真空  (HV,10-6 毫巴)和超高真空(UHV,10-11 毫巴)。

本网站上介绍的大多数平台都有专为真空条件下工作而准备的型号。
超高真空版本可在高达 150 °C 的温度下烘烤,并提供两种不同类型的电缆:

  • 高性价比型采用特氟龙绝缘导线。
  • Kapton® 绝缘版是一种无氟解决方案。

由于 SmarAct 是全套解决方案的提供商,因此高压和超高压定位系统都配有相应的电气馈入件。作为标准配置,SmarAct 使用

  • HV 作为隔板 LEMO® 贯穿件,采用 O 型圈密封。
  • 用于超高压的紧密焊接设计。

欢迎您随时与我们的应用科学家联系,讨论您的具体要求。
对于需要安装后烘烤的 SLC-17 和 SLC-24 系列真空兼容平台,我们建议选择 U 形底座,以增加平台的整体刚度。

请注意,U 形底座具有通常的安装孔模式,但平台本身的宽度增加了 6 毫米。这样,SLC-17 平台的宽度变为 23 毫米,SLC-24 平台的宽度变为 30 毫米。只有在对结构紧凑有最高要求时,才建议省略 U 形底座选项。

 
大气条件
高真空 (HV)
超高真空(UHV)
超高真空(UHVT)
压力 -- 低至 10- 6 毫巴 低至 10-11 毫巴 低至 10-11 毫巴
布线 聚四氟乙烯绝缘绞合导线,带编织屏蔽和聚四氟乙烯涂层 带编织屏蔽的聚四氟乙烯绝缘绞合导线 卡普顿绝缘绞合导线 带编织屏蔽的聚四氟乙烯绝缘绞合导线
油脂 标准润滑脂 HV 兼容润滑脂 无油脂 无油脂
Sensor Options S, L, I S S S
烘烤温度 -- 根据要求最高可达 130°C 建议 130°C(最高 150°C) 建议 130°C(最高 150°C)
真空馈入件 -- LEMO 贯穿件
- 用螺丝螺母拧紧的 O 形圈
- 可根据要求提供法兰
与 LEMO 兼容的钢质多针或 D-SUB15 PEEK 贯穿件焊接在真空法兰上
- DN40CF 或 DN63CF 法兰,其他尺寸可根据要求提供
与 LEMO 兼容的钢质多针或 D-SUB15 PEEK 贯穿件焊接在真空法兰上
- DN40CF 或 DN63CF 法兰,其他尺寸可根据要求提供