PICOSCALE Sensor Heads：精密测量解决方案
紧凑型、应用就绪型传感器头，用于高分辨率位移测量，专为适配严苛环境、简化集成并支持可靠结果而设计。
定制化解决方案：SmarAct 的定制专业能力
- 极其紧凑的纯光学设计，便于集成到空间受限的装置中
- 可用于包括超高真空（UHV）、低温条件、洁净室和辐射敏感应用在内的严苛环境
- 可配置的传感器头选项，可匹配特定应用和集成要求
了解适合您应用的传感器头
我们的 PICOSCALE 传感器头是执行高分辨率位移测量的关键设备。在这些微型激光干涉仪内部，探测光束和参考光束发生干涉，形成干涉条纹图样，从而精确确定目标反射镜的位置。SmarAct Metrology 开发了三种不同类别的传感器头，每种类别均具有专门的光束几何结构，以适应广泛的应用范围。
定制化解决方案：SmarAct 的定制专业能力
并非每项测量任务都能通过标准配置解决。SmarAct 为客户提供传感器头解决方案，可根据特定光学、机械和环境要求进行定制，范围涵盖紧凑型标准集成方案，以及面向超高真空（UHV）、低温或辐射敏感装置的完全定制化解决方案。
规格
|
|
传感器头 |
||||
| C03 | C04 | F04 | F01 | L01 | |
| 光束几何结构 | 准直 | 准直 | 聚焦 | 聚焦 | 线聚焦 |
| 焦距 [mm] | 70（可定制） | 10（可定制） | 30 或 50 | ||
| 束腰直径 [µm] | 1590 | 350 | 100 ** | 28 * | 50 x 1590 |
| 工作距离 [mm] | 13 .. 5000 | 13 … 500 | ± 10（焦点附近） | ± 0.5（焦点附近） | ± 10（焦点附近） |
| 工作角度范围 [°] | ± 0.013 | ± 0.075 | ± 0.75 ** | ± 2 * | 沿聚焦轴 ± 1.3 |
| 环境兼容性 | 空气、高真空（HV）、超高真空（UHV） | ||||
| 典型目标 | 反射镜、回射器 | 反射镜 | 小型样品、反射镜 | 小型样品、反射镜 | 圆柱形样品 |
机械 |
|
||||
| 尺寸 [mm] | 6 x 21（Ø x L） | 4 x 13（Ø x L） | 6 x 21（Ø x L） | 6 x 21（Ø x L） | 9 x 26（Ø x L） |
* 适用于焦距为 10 mm 的传感器头。
** 适用于焦距为 70 mm 的传感器头。
传感器头选项和附件
PICOSCALE 提供灵活的传感器头配置、光纤选项和安装附件产品组合，帮助用户为其应用构建合适的计量装置。
预对准组件
用于角度测量和差分测量的预对准解决方案可缩短装调时间，并支持可复现的结果。
安装和支架选项
紧凑型支架和模块化托架可简化安装，并帮助用户更高效地将传感器头集成到现有系统中。
光纤和配置灵活性
广泛的光纤和传感器头选项支持在标准装置以及空间受限或定制化环境中进行精密测量。
PICOSCALE Sensor Heads 的轻松对准 — SmarAlign 窗口
借助 SmarAlign 窗口，PICOSCALE 简化了干涉测量中最关键的步骤之一：传感器头对准。通过向用户提供关于光束反射和信号质量的即时视觉反馈，SmarAlign 使装调更加直观，降低不确定性，并帮助团队更快获得有效测量结果。
差分测量
迈克尔逊型激光干涉仪的一项主要优势是能够执行直接差分测量。通过使用不带参考反射镜的传感器头，用户可以选择自己的参考点。这样，参考光束和测量光束会受到相同的环境影响，从而完全抑制其对测量的影响。此外，参考点和目标点的共模振动也会被固有地滤除。PICOSCALE 激光干涉仪提供这些选项，可实现稳健的高精度位移测量，而无需对数据进行后处理。
除外部参考选项之外，PICOSCALE Sensor Heads 还可采用不同配置，以适配任何装置：
迈克尔逊干涉仪配置
在 PICOSCALE 传感器头的标准配置中，参考反射镜镀覆在立方分束器的一个侧面上。
作为一种变体，分束器可镀覆在立方分束器的前表面上。这对于存在特定空间限制的装置可能具有优势，因为传感器头可以“绕过拐角”进行测量。
另一种 PICOSCALE 传感器头完全不带参考反射镜。这是迈克尔逊干涉仪所特有的设计，可用于对两个目标进行差分测量，并带来多项优势。
共同开发，基于信任构建
每一项测量挑战都始于一次交流。SmarAct 与您的团队紧密合作，以了解您的设置、约束条件和目标——从最初的构想到可靠集成。
借助 PICOSCALE 传感器头，您不仅受益于精密的干涉测量技术，还受益于个人联系、面向应用的指导和长期工程支持。
我们共同定义一种适合您的应用、环境和工作方式的解决方案。
