EBAC（电子束吸收电流）和 EBIC（电子束感应电流）是失效分析中的关键技术，可在纳米尺度上快速定位电气缺陷。SmarProbe 将高灵敏度电流放大器直接集成在探针支架内部。这种原位（in-situ）设计可最大限度减少寄生噪声和信号损失，从而确保最高的电流检测精度。在标准 IV 测量与 EBAC/EBIC 模式之间切换非常便捷——只需在直观的 SmarProbe 图形界面中点击一下即可。
与传统的外置（ex-situ）放大器相比，原位架构具有两个主要优势：
1. 更快的成像速度和更高的灵敏度： 即使是微弱的缺陷信号也能被清晰识别，同时所需的电子剂量显著降低，从而保护敏感结构。
2. 更宽的动态范围： 无需切换放大倍率，简化测量流程并减少用户操作。
EBAC/EBIC 信号可以实时叠加在 SEM 图像上，实现即时的空间关联和直观的缺陷定位。SmarProbe 图形界面还支持颜色分级和直方图滤波，使用户能够在实时处理中抑制背景噪声并突出关键信号。
EBAC/EBIC 选项包括 SmarProbe 触控控制器和高级探针支架，如图所示。
