探针自动着陆与表面形貌

该功能可实现探针在几乎任何表面上的全自动着陆——消除了纳米探测过程中最耗时且最容易出错的步骤之一。

传统的手动探针着陆通常需要高水平的操作经验，并且存在损坏探针或敏感样品的风险。借助 SmarProbe 的自动着陆功能，这一过程变得更快、更安全，且无需用户干预。此外，该自动化还支持“盲操作”，可显著降低样品所受的电子剂量，从而保护器件完整性——这对于对电子束敏感的材料尤为关键。

此外，该功能还可使探针执行形貌测量，并生成高度剖面或表面地图。在约 1 µm/s 的受控扫描速度下，系统能够获取高分辨率的形貌图像，用于结构检测或导航。

自动探针着陆选项包括 SmarProbe 触控控制器和高级探针支架。