正弦相位调制干涉测量法

正如在有关迈克尔逊干涉仪的章节中所提到的，我们 SmarAct 对激光源进行正弦相位调制，以产生包含调制频率谐波的干涉信号。这是通过交变激光二极管的注入电流产生的，从而对发射波长 λ 进行调制，可表示为

λ = λ0 + δλ - sin(ωt)

其中，λ0 是载波波长，δλ 是调制幅度，ω 是角调制频率。应用时，干扰信号可表示为

I(t) = Sω - cos(ωt) + S2ω - sin(2ωt) + S3ω - cos(3ωt) + ----、

与

Sω(t) = J1[z(t)] - sin[α(t)]

S2ω(t) = J2[z(t)] - cos[α(t)]

S ω(t) = J3[z(t)] - sin[α(t)] S2ω(t) = J2[z(t)] - cos[α(t)

其中，z(t) 是取决于调制幅度 δλ 的调制深度，Jn 是第一类的 n 次贝塞尔函数。利用频率 n - ω 的标准解调，可以提取 Snε{1,2,3,...} 的分量。- 连续成对的分量，如 [Sω(t);S2ω(t)]，相位相差 90°，或者换句话说，是正交的。

通过DeepL.com（免费版）翻译

正交信号（Sω;S2ω）可以用正弦和余弦函数以及贝塞尔第一类函数来表示。只有当两个信号分量的振幅都高于系统的检测极限时，才能进行可靠的测量。