SMARFLEX 技术

SMARFLEX 纳米定位扫描滑台利用压电驱动的柔性机构优势,实现高精度的定位任务,行程范围可达数百微米。对于如原子力显微镜(AFM)等扫描类应用,SMARFLEX 扫描滑台具备极高的扫描速度和极低的扫描误差。

在光学显微领域,SMARFLEX 同样表现出色:可实现精确的焦点调节、镜片的高精度倾斜控制,以及光纤的高效耦合等功能.

 
高分辨率

集成的位置传感器可实现闭环控制,定位分辨率达亚纳米级。

 
无摩擦运动

由于柔性结构本身无摩擦,因此无需对易损部件进行维护。此外,这种设计还实现了具有极高重复精度的运动性能。

非磁性材料

柔性结构滑台可提供非磁性材料版本,适用于对磁干扰敏感的应用环境。

高动态性能

于质量与驱动力的比值极小,柔性滑台能够实现极高动态性能的快速运动。

最小化寄生运动

经过有限元(FEM)优化的柔性结构可精确引导运动,并显著减少非预期方向上的寄生运动。

无振动运动

该运动原理基于杠杆放大的压电致动器,从而实现连续且无振动的平稳运动。

PLF3232-x.60

PLF3232-x.60

扫描范围: > 60 μm
扫描方向: X
尺寸: 32 x 32 x 12 毫米
PLF3232-z.60

PLF3232-z.60

扫描范围: > 60 μm
扫描方向: Z
尺寸: 32 x 32 x 15 毫米

PLF5252-x.200

扫描范围: > 200 μm
扫描方向: X
尺寸: 52 x 52 x 15 毫米

PLF3232-xy.60

扫描范围: > 60 μm
扫描方向: X 和 Y
尺寸: 32 x 32 x 20 毫米