Geradheitsmessungen an Linearpositionierern

Diese Application Note demonstriert den Einsatz des PICOSCALE Interferometers für Geradheitsmessungen an Linearpositionierern. Das System nutzt seine Drei-Kanal-Messfähigkeit, kompakte Sensorköpfe und Echtzeitverarbeitung, um eine präzise Charakterisierung zu ermöglichen, ohne den Testaufbau mit hohen Lasten zu belasten.

Problem: Konventionelle Methoden zur Messung der Geradheit von Linearpositionierern erfordern häufig das Aufbringen hoher Lasten, wodurch die Leistungsfähigkeit des Positionierers beeinträchtigt und die Messgenauigkeit kompromittiert werden kann.

Lösung: Das PICOSCALE Interferometer bietet eine nichtinvasive, präzise und benutzerfreundliche Methode für Geradheitsmessungen. Seine leichten Sensorköpfe und Echtzeitverarbeitungsfunktionen ermöglichen eine genaue Charakterisierung, ohne dass zusätzliche schwere Ausrüstung erforderlich ist.

Implementierung:

• Ein leichter 1-Zoll-Spiegel wird mithilfe eines kundenspezifischen Adapters auf dem Linearpositionierer montiert.
• Die PICOSCALE Sensorkopfbaugruppe, bestehend aus drei vorjustierten Köpfen, wird auf den Spiegel ausgerichtet.
• Signale von den Sensorköpfen werden in Echtzeit vom PICOSCALE Calculation System verarbeitet, um während einer 20-mm-Bewegung des Positionierers Nick- und Gierwerte zu berechnen.

Ergebnis: Die Messungen ergaben ein Nicken von etwa 140 µrad und ein Gieren von 80 µrad über einen 20-mm-Verfahrweg. Dies demonstriert die begrenzte Geradheit der Lager des Positionierers und die Wirksamkeit des PICOSCALE Systems bei der Detektion und Charakterisierung solcher Abweichungen.