Oberflächenreinigung für zuverlässigen elektrischen Kontakt

Eine saubere, leitfähige Probenoberfläche ist für eine genaue elektrische Analyse von Halbleiterbauelementen von entscheidender Bedeutung.

Verunreinigungen wie Kohlenstoffrückstände, native Oxide, adsorbiertes Wasser und organische Moleküle können die Kontaktqualität der Sonde und die Signalintegrität erheblich beeinträchtigen. Mit der integrierten Oberflächenreinigungsoption von SmarProbe werden diese Schichten effizient entfernt – einschließlich nativer Oxide wie SiO₂ auf Silizium.

Um einen nahtlosen und unterbrechungsfreien Nanoprobing-Arbeitsablauf zu gewährleisten, kann die In-situ-Reinigung oder die Oxidentfernung direkt am Messort durchgeführt werden, wodurch zusätzliche Probenvorbereitungsschritte entfallen und die Messzuverlässigkeit maximiert wird.