Im Bereich der Mikro- und Nanotechnologie müssen die Auswirkungen von Vibrationen oft minimiert werden, um Präzision zu erhalten und mechanische Ermüdung zu vermeiden. Im Gegensatz dazu sind Geräte wie Sensoren und Lautsprecher für ihre Funktion auf Schwingungen angewiesen. Hier ist es wichtig, eine gut definierte Rückmeldung im gewünschten Frequenzbereich zu haben.
Laserinterferometrie und Vibrometrie sind weithin anerkannte Methoden für die berührungslose Modalanalyse von mikroelektromechanischen Geräten, bei denen sich die PICOSCALE Interferometer und Vibrometer von SmarAct Metrology auszeichnen.
Anwendungsbeispiele
Measuring Mems Vibrations Through a Packaging of Silicon
Collaboration with TDK Insense.
Measuring Lateral Vibrations Within All-Silicon Loudspeakers
Collaboration with the Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems.
Imaging Vibrations inside Acoustofluidic Devices
Collaboration with ETH Zurich.
