Im Bereich der Mikro- und Nanotechnologie müssen die Auswirkungen von Vibrationen oft minimiert werden, um Präzision zu erhalten und mechanische Ermüdung zu vermeiden. Im Gegensatz dazu sind Geräte wie Sensoren und Lautsprecher für ihre Funktion auf Schwingungen angewiesen. Hier ist es wichtig, eine gut definierte Rückmeldung im gewünschten Frequenzbereich zu haben.

Laserinterferometrie und Vibrometrie sind weithin anerkannte Methoden für die berührungslose Modalanalyse von mikroelektromechanischen Geräten, bei denen sich die PICOSCALE Interferometer und Vibrometer von SmarAct Metrology auszeichnen.

Empfohlene Produkte

Vibrometer

PICOSCALE Vibrometer für die Modalanalyse von kleinen Proben.

Anwendungsbeispiele