PICOSCALE Sensor Heads: Ihre Lösung für präzise Messungen
Kompakte, anwendungsbereite Sensorköpfe für hochauflösende Wegmessungen — entwickelt für anspruchsvolle Umgebungen, einfache Integration und zuverlässige Ergebnisse.
Maßgeschneiderte Lösungen: SmarActs Expertise für kundenspezifische Anpassungen
- Extrem kompaktes und rein optisches Design für die einfache Integration in Aufbauten mit begrenztem Bauraum
- Verfügbar für anspruchsvolle Umgebungen einschließlich Ultrahochvakuum (UHV), kryogener Temperaturen, Reinraum- und strahlungsempfindlicher Anwendungen
- Konfigurierbare Sensorkopfoptionen zur Erfüllung spezifischer Anwendungs- und Integrationsanforderungen
Entdecken Sie den Sensorkopf, der zu Ihrer Anwendung passt
Unsere PICOSCALE Sensorköpfe sind eine wesentliche Ausstattung für hochauflösende Wegmessungen. In diesen miniaturisierten Laserinterferometern interferieren Messstrahl und Referenzstrahl und erzeugen ein Interferenzmuster, das die Position des Zielspiegels präzise bestimmt. SmarAct Metrology hat drei unterschiedliche Sensorkopfklassen entwickelt, jeweils mit spezialisierten Strahlgeometrien, um ein breites Anwendungsspektrum abzudecken.
Maßgeschneiderte Lösungen: SmarActs Expertise für kundenspezifische Anpassungen
Nicht jede Messaufgabe lässt sich mit einer Standardkonfiguration lösen. SmarAct unterstützt Kunden mit Sensorkopflösungen, die auf spezifische optische, mechanische und umgebungsbezogene Anforderungen zugeschnitten sind — von kompakten Standardintegrationen bis hin zu vollständig kundenspezifischen Lösungen für Ultrahochvakuum (UHV), kryogene oder strahlungsempfindliche Aufbauten.
Spezifikationen
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Sensorköpfe |
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| C03 | C04 | F04 | F01 | L01 | |
| Strahlgeometrie | Kollimiert | Kollimiert | Fokussiert | Fokussiert | Linienfokussiert |
| Fokusabstand [mm] | 70 (kundenspezifisch anpassbar) | 10 (kundenspezifisch anpassbar) | 30 oder 50 | ||
| Strahltaille-Durchmesser [µm] | 1590 | 350 | 100 ** | 28 * | 50 x 1590 |
| Arbeitsabstand [mm] | 13 .. 5000 | 13 … 500 | ± 10 um den Fokus | ± 0,5 um den Fokus | ± 10 um den Fokus |
| Zulässiger Arbeitswinkelbereich [°] | ± 0,013 | ± 0,075 | ± 0,75 ** | ± 2 * | ± 1,3 entlang der fokussierten Achse |
| Umgebungskompatibilität | Luft, Hochvakuum (HV), Ultrahochvakuum (UHV) | ||||
| Typische Zielobjekte | Spiegel, Retroreflektor | Spiegel | kleine Proben, Spiegel | kleine Proben, Spiegel | zylindrische Proben |
Mechanik |
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| Abmessungen [mm] | 6 x 21 (Ø x L) | 4 x 13 (Ø x L) | 6 x 21 (Ø x L) | 6 x 21 (Ø x L) | 9 x 26 (Ø x L) |
* für einen Sensorkopf mit 10 mm Fokusabstand.
** für einen Sensorkopf mit 70 mm Fokusabstand.
Optionen & Zubehör
Entdecken Sie die gesamte Auswahl an Faseroptionen für PICOSCALE Laserinterferometer-Sensorköpfe, die für hochpräzise Messungen auch bei begrenztem Bauraum entwickelt wurden.
Sensorkopfoptionen und Zubehör
PICOSCALE bietet ein flexibles Portfolio an Sensorkopfkonfigurationen, Faseroptionen und Montagezubehör, mit dem Anwender den passenden Messtechnikaufbau für ihre Anwendung erstellen können.
Vorjustierte Baugruppen
Vorjustierte Lösungen für Winkel- und Differenzmessungen verkürzen die Einrichtungszeit und unterstützen reproduzierbare Ergebnisse.
Montage- und Halteroptionen
Kompakte Halter und modulare Halterungen vereinfachen die Installation und helfen Anwendern, Sensorköpfe effizienter in bestehende Systeme zu integrieren.
Faser- und Konfigurationsflexibilität
Ein breites Spektrum an Faser- und Sensorkopfoptionen unterstützt Präzisionsmessungen in Standardaufbauten sowie in Aufbauten mit begrenztem Bauraum oder kundenspezifischen Umgebungen.
Einfache Justage von PICOSCALE Sensor Heads – das SmarAlign-Fenster
Mit dem SmarAlign-Fenster vereinfacht PICOSCALE einen der kritischsten Schritte bei der interferometrischen Messung: die Sensorkopfjustage. Durch unmittelbare visuelle Rückmeldung zu Strahlreflexionen und Signalqualität macht SmarAlign die Einrichtung intuitiver, reduziert Unsicherheiten und hilft Teams, schneller ein gültiges Messergebnis zu erzielen.
Differenzmessungen
Ein wesentlicher Vorteil von Laserinterferometern des Michelson-Typs ist die Möglichkeit, direkte Differenzmessungen durchzuführen. Durch die Verwendung eines Sensorkopfs ohne Referenzspiegel kann der Anwender seinen eigenen Referenzpunkt wählen. Dadurch sind sowohl Referenzstrahl als auch Messstrahl identischen Umwelteinflüssen ausgesetzt, wodurch deren Einfluss auf die Messungen vollständig unterdrückt wird. Darüber hinaus werden Gleichtaktschwingungen von Referenzpunkt und Zielpunkten ebenfalls inhärent herausgefiltert. Das PICOSCALE Laserinterferometer bietet diese Optionen für robuste, hochpräzise Wegmessungen, ohne dass die Daten nachverarbeitet werden müssen.
Zusätzlich zur Option externer Referenzen können PICOSCALE Sensor Heads auf unterschiedliche Weise konfiguriert werden, damit sie in jeden Aufbau passen:
Michelson-Interferometer-Konfigurationen
In der Standardkonfiguration eines PICOSCALE Sensorkopfs ist der Referenzspiegel auf eine der Seitenflächen des Strahlteilerwürfels aufgebracht.
Als Variante kann der Strahlteiler auf der Vorderfläche des Strahlteilerwürfels beschichtet werden. Dies kann bei Aufbauten mit bestimmten Bauraumbeschränkungen vorteilhaft sein, da der Sensorkopf „um die Ecke schauen“ kann.
Eine weitere Variante von PICOSCALE Sensorköpfen verfügt über keinen Referenzspiegel. Dies ist bei Michelson-Interferometern einzigartig und ermöglicht Differenzmessungen an zwei Zielobjekten mit mehreren Vorteilen.
Gemeinsam entwickelt, auf Vertrauen aufgebaut
Jede Messaufgabe beginnt mit einem Gespräch. SmarAct arbeitet eng mit Ihrem Team zusammen, um Ihren Aufbau, Ihre Randbedingungen und Ihre Ziele zu verstehen — von der ersten Idee bis zur zuverlässigen Integration.
Mit PICOSCALE Sensorköpfen profitieren Sie nicht nur von präziser interferometrischer Messtechnik, sondern auch von persönlichem Kontakt, anwendungsorientierter Beratung und langfristiger technischer Unterstützung.
Gemeinsam definieren wir eine Lösung, die zu Ihrer Anwendung, Ihrer Umgebung und Ihrer Arbeitsweise passt.
Optionen & Zubehör
Entdecken Sie vorab eingestellte Baugruppen, Faseroptionen und Zubehör.