EBAC/EBIC-Stromverstärker für den Einsatz vor Ort

EBAC (Electron Beam Absorbed Current) und EBIC (Electron Beam Induced Current) sind unverzichtbare Verfahren in der Fehleranalyse, die eine schnelle Lokalisierung elektrischer Defekte im Nanometerbereich ermöglichen. SmarProbe integriert einen hochempfindlichen Stromverstärker direkt in den Sondenhalter. Dieses In-situ-Design minimiert parasitäre Störungen und Signalverluste und gewährleistet höchste Genauigkeit bei der Stromerfassung. Der Wechsel zwischen Standard-IV-Messungen und EBAC/EBIC-Modi erfolgt nahtlos – mit nur einem Klick in der intuitiven SmarProbe-Benutzeroberfläche.

Im Vergleich zu herkömmlichen externen (Ex-situ-)Verstärkern bietet die In-situ-Architektur zwei wesentliche Vorteile:

  1. Schnellere Bildgebung und höhere Empfindlichkeit: Selbst schwache Defektsignaturen werden klar aufgelöst, während die erforderliche Elektronendosis für die Probe deutlich reduziert wird – wodurch empfindliche Strukturen geschont werden.

  2. Größerer Dynamikbereich: Ein Umschalten der Verstärkung ist nicht mehr erforderlich, was den Messvorgang vereinfacht und den Bedienungsaufwand verringert.

Die Live-Überlagerung des EBAC/EBIC-Signals auf das REM-Bild ermöglicht eine sofortige räumliche Korrelation und eine intuitive Fehlerlokalisierung. Die SmarProbe-Benutzeroberfläche bietet darüber hinaus Funktionen zur Farbabstufung und Histogrammfilterung, mit denen Anwender Hintergrundrauschen unterdrücken und relevante Signale in Echtzeit hervorheben können.

Die EBAC/EBIC-Option umfasst den SmarProbe Touch Controller und den Advanced Probe Holder, wie auf dem Bild zu sehen ist.