SmarAct Motion steht für hochpräzise Positionierslösungen in anspruchsvollsten Anwendungen in Wissenschaft und Industrie. Die fortschrittlichen Antriebssysteme ermöglichen nanometergenaue Bewegungen und treiben Innovationen in der Halbleitertechnologie, Optik, Photonik, Lebenswissenschaften, Materialwissenschaft und Hochenergieforschung voran. Das Produktportfolio umfasst piezobasierte, elektromagnetische und flexurbasierte Positioniersysteme, von kompakten Einzelpositionierern bis hin zu komplexen miniturisierten Mehrachs-Robotern. SMARSLIDE® Piezopositionierer bieten Nanometerpräzision für lineare, rotatorische und goniometrische Bewegungen, während SMARSHIFT® elektromagnetische Direktantriebe wartungsarme Hochgeschwindigkeitspositionierung für Halbleiterinspektion, optische Ausrichtung und Wafer-Handling ermöglichen. SMARFLEX®-Scanner bieten maximale Stabilität und Genauigkeit für Anwendungen wie Faserausrichtung und Elekronenmikroskopie. Auch komplette Mehrachsenlösungen wie SMARPOD®-Hexapods und TRIPOD-Systeme, die multiple Freiheitsgrade mit extremer Präzision bieten eignen sich ideal für die Prüfung von photonischen integrierten Schaltkreisen, Wafer-Probing und Mikromontage. Die modularen Lösungen lassen sich nahtlos in Forschung und Industrie integrieren und gewährleisten Präzision, Zuverlässigkeit und Innovation bei Anwendungen vom Quantencomputing bis zur Halbleiterfertigung.

Märkte & Anwendungen

Anwendungsspezifische Produkte und Know-how

Motion Produkte

Hochpräzise, kompakte Nano-Positionierprodukte

Motion Technologien

Die passende Technologie für jede Anforderung