Das PICOSCALE Vibrometer ist eine schlüsselfertige Lösung zur Messung der Schwingungen von mikromechanischen Strukturen mit Größen von wenigen µm bis zu mehreren cm. Die Anwendungen umfassen die Prüfung von MEMS, Sensoren, Miniaturlautsprechern, aber auch Lagern und Aktuatoren. Da das Gerät mit einem integrierten Mikroskop ausgestattet ist Mikroskop ausgestattet ist und bis zu 1 Million Pixel messen kann, eignet es sich hervorragend zur Visualisierung von Schwingungsmoden mit hoher räumlicher und zeitlicher Auflösung zu visualisieren.

  • Berührungsloses Messen mit Licht
  • Scanning-Laserinterferometer zur Messung der Bewegung außerhalb der Ebene (in Richtung des Laserstrahls)
  • Messbandbreite bis 2,5 MHz (10 MHz Abtastrate) mit einer Auflösung unter 13 pm
  • Integriertes Infrarot-Konfokalmikroskop mit einer optischen Auflösung bis zu 2 μm
  • Modalanalyse von gekapseltem MEMS
  • Stroboskopische Abbildung der Bewegung in der Ebene (senkrecht zur Richtung des Laserstrahls)
  • Schlüsselfertiges Instrument komplett mit Shaker-Stufe

Rastervibrometrie

Bildbiegemodi mit dem PICOSCALE Vibrometer.

Einzelpunkt-Vibrometrie

Messen Sie Schwingungen an einzelnen Punkten mit dem PICOSCALE Interferometer.

Komponenten & Zubehör

Erfahren Sie mehr über die Komponenten, aus denen das PICOSCALE Vibrometer besteht.

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