Das PICOSCALE Vibrometer ist eine schlüsselfertige Lösung zur Messung der Schwingungen von mikromechanischen Strukturen mit Größen von wenigen µm bis zu mehreren cm. Die Anwendungen umfassen die Prüfung von MEMS, Sensoren, Miniaturlautsprechern, aber auch Lagern und Aktuatoren. Da das Gerät mit einem integrierten Mikroskop ausgestattet ist und bis zu 1 Million Pixel messen kann, eignet es sich hervorragend zur Visualisierung von Schwingungsmoden mit hoher räumlicher und zeitlicher Auflösung zu visualisieren.
- Berührungsloses Messen mit Licht
- Scanning-Laserinterferometer zur Messung der Bewegung außerhalb der Ebene (in Richtung des Laserstrahls)
- Messbandbreite bis 2,5 MHz (10 MHz Abtastrate) mit einer Auflösung unter 1 pm
- Integriertes Infrarot-Konfokalmikroskop mit einer optischen Auflösung bis zu 2 μm
- Modalanalyse von gekapseltem MEMS
- Stroboskopische Abbildung der Bewegung in der Ebene (senkrecht zur Richtung des Laserstrahls)
- Schlüsselfertiges Instrument komplett mit Shaker-Stufe
Rastervibrometrie
Bildbiegemodi mit dem PICOSCALE Vibrometer.
Einzelpunkt-Vibrometrie
Messen Sie Schwingungen an einzelnen Punkten mit dem PICOSCALE Interferometer.
Komponenten & Zubehör
Erfahren Sie mehr über die Komponenten, aus denen das PICOSCALE Vibrometer besteht.
Anwendungshinweise & Dokumentation
Sammlung aller Anwendungshinweise und technischen Dokumente.
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