Ultrahochvakuum-Piezopositionierer
Die Positionierer und Systeme von SmarAct eignen sich nicht nur perfekt für Anwendungen unter atmosphärischen Bedingungen, sondern in einigen Fällen auch für extremere Umgebungen wie Hochvakuum (HV, 10-6 mbar) und Ultrahochvakuum (UHV, 10-11 mbar).
Die meisten der auf dieser Website vorgestellten Positionierer sind in Versionen erhältlich, die speziell für den Betrieb unter Vakuumbedingungen ausgelegt sind.
Die UHV-Versionen sind bei bis zu 130 °C ausheizbar und mit zwei verschiedenen Kabeltypen erhältlich:
- Die kostengünstige Version verwendet Teflon-isolierte Drähte.
- Die Kapton® isolierte Version ist eine fluorfreie Lösung.
Da SmarAct ein Komplettlösungsanbieter ist, werden HV- und UHV-Positioniersysteme mit passenden elektrischen Durchführungen geliefert. Standardmäßig verwendet SmarAct:
- HV als Einschraubbare Durchführung, die mit O-Ringen abgedichtet sind.
- UHV dicht geschweißte Konstruktionen für den Einsatz im UHV.
Setzen Sie sich gerne jederzeit mit uns in Verbindung, um Ihre spezifischen Anforderungen zu besprechen.
Für vakuumtaugliche Positionierer der Serien SLC-17 und SLC-24, die nach der Installation ausgeheizt werden müssen, empfehlen wir die U-förmige Basis, um die Gesamtsteifigkeit des Systems zu erhöhen.
Bitte beachten Sie, dass die U-förmige Bodenplatte das übliche Montagelochmuster aufweist, aber die Breite des Positionierers selbst um 6 mm erhöht. Dadurch wird die Breite eines SLC-17-Positionierers auf 23 mm und die Breite eines SLC-24-Positionierers auf 30 mm geändert. Der Wegfall der U-förmigen Basisoption ist nur dann ratsam, wenn Kompaktheit die oberste Anforderung ist.
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Atmosphärische Bedingungen
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Hochvakuum (HV)
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Ultrahochvakuum (UHV)
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Ultrahochvakuum (UHVT)
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Druck | -- | Bis zu 10-6 mbar | Bis zu 10-11 mbar | Bis zu 10-11 mbar |
Verdrahtung | Teflonisolierte Litzen mit geflochtenem Schirmgeflecht und Teflonbeschichtung | Teflonisolierte Litzen mit Schirmgeflecht | Kapton-isolierte Litzen | Teflonisolierte Litzen mit Schirmgeflecht |
Fett | Standardfett | HV-kompatibles Fett | Fettfrei | Fettfrei |
Sensor-Optionen | S, L, I | S | S | S |
Bake-Out Temperatur | -- | Bis zu 130°C auf Anfrage | Empfohlen 130°C (max. 150°C) | Empfohlen 130°C (max. 150°C) |
Vakuumdurchführung | -- | LEMO-Durchführungen - O-Ring, der durch eine Schraubenmutter festgezogen wird - Flansche auf Anfrage erhältlich |
LEMO-kompatible Stahl-Multipin- oder D-SUB15 PEEK-Durchführungen in Vakuumflansch eingeschweißt - DN40CF oder DN63CF Flansch, andere Größen auf Anfrage |
LEMO-kompatible Stahl-Multipin- oder D-SUB15 PEEK-Durchführungen in Vakuumflansch eingeschweißt - DN40CF oder DN63CF Flansch, andere Größen auf Anfrage |