Ultrahochvakuum-Piezopositionierer

Die Positionierer und Systeme von SmarAct eignen sich nicht nur perfekt für Anwendungen unter atmosphärischen Bedingungen, sondern in einigen Fällen auch für extremere Umgebungen wie Hochvakuum (HV, 10-6 mbar) und Ultrahochvakuum (UHV, 10-11 mbar).

Die meisten der auf dieser Website vorgestellten Positionierer sind in Versionen erhältlich, die speziell für den Betrieb unter Vakuumbedingungen ausgelegt sind.
Die UHV-Versionen sind bei bis zu 130 °C ausheizbar und mit zwei verschiedenen Kabeltypen erhältlich:

  • Die kostengünstige Version verwendet Teflon-isolierte Drähte.
  • Die Kapton® isolierte Version ist eine fluorfreie Lösung.

Da SmarAct ein Komplettlösungsanbieter ist, werden HV- und UHV-Positioniersysteme mit passenden elektrischen Durchführungen geliefert. Standardmäßig verwendet SmarAct:

  • HV als Einschraubbare Durchführung, die mit O-Ringen abgedichtet sind.
  • UHV dicht geschweißte Konstruktionen für den Einsatz im UHV.

Setzen Sie sich gerne jederzeit mit uns in Verbindung, um Ihre spezifischen Anforderungen zu besprechen.
Für vakuumtaugliche Positionierer der Serien SLC-17 und SLC-24, die nach der Installation ausgeheizt werden müssen, empfehlen wir die U-förmige Basis, um die Gesamtsteifigkeit des Systems zu erhöhen.

Bitte beachten Sie, dass die U-förmige Bodenplatte das übliche Montagelochmuster aufweist, aber die Breite des Positionierers selbst um 6 mm erhöht. Dadurch wird die Breite eines SLC-17-Positionierers auf 23 mm und die Breite eines SLC-24-Positionierers auf 30 mm geändert. Der Wegfall der U-förmigen Basisoption ist nur dann ratsam, wenn Kompaktheit die oberste Anforderung ist.

 
Atmosphärische Bedingungen
Hochvakuum (HV)
Ultrahochvakuum (UHV)
Ultrahochvakuum (UHVT)
Druck -- Bis zu 10-6 mbar Bis zu 10-11 mbar Bis zu 10-11 mbar
Verdrahtung Teflonisolierte Litzen mit geflochtenem Schirmgeflecht und Teflonbeschichtung Teflonisolierte Litzen mit Schirmgeflecht Kapton-isolierte Litzen Teflonisolierte Litzen mit Schirmgeflecht
Fett Standardfett HV-kompatibles Fett Fettfrei Fettfrei
Sensor-Optionen S, L, I S S S
Bake-Out Temperatur -- Bis zu 130°C auf Anfrage Empfohlen 130°C (max. 150°C) Empfohlen 130°C (max. 150°C)
Vakuumdurchführung -- LEMO-Durchführungen
- O-Ring, der durch eine Schraubenmutter festgezogen wird
- Flansche auf Anfrage erhältlich
LEMO-kompatible Stahl-Multipin- oder D-SUB15 PEEK-Durchführungen in Vakuumflansch eingeschweißt
- DN40CF oder DN63CF Flansch, andere Größen auf Anfrage
LEMO-kompatible Stahl-Multipin- oder D-SUB15 PEEK-Durchführungen in Vakuumflansch eingeschweißt
- DN40CF oder DN63CF Flansch, andere Größen auf Anfrage