Automatische Sondenaufsetzerkennung und Oberflächentopografie

Diese Funktion ermöglicht das vollautomatische Aufsetzen jeder Sonde auf nahezu jeder Oberfläche – und beseitigt damit einen der zeitaufwendigsten und fehleranfälligsten Schritte bei der Nanoprobierung.

Die manuelle Sondenlandung erfordert in der Regel hohe Bedienerkenntnisse und birgt das Risiko, Sonden oder empfindliche Proben zu beschädigen. Mit der automatisierten Landung von SmarProbe wird der Prozess sowohl schneller als auch sicherer und erfordert keinen Eingriff durch den Benutzer. Die Automatisierung ermöglicht zudem den Blindbetrieb, wodurch die Elektronendosis für die Probe deutlich reduziert und die Integrität des Bauteils gewahrt wird – was besonders bei strahlungsempfindlichen Materialien von entscheidender Bedeutung ist.

Darüber hinaus ermöglicht dieselbe Funktion der Sonde die Durchführung von Topografiemessungen und die Erstellung von Höhenprofilen oder Oberflächenkarten. Bei einer geregelten Abtastgeschwindigkeit von etwa 1 µm/s kann das System detaillierte Topografiebilder für die Strukturprüfung oder Navigation aufzeichnen.

Die Option zur automatisierten Sondenauflage umfasst den SmarProbe Touch Controller und den Advanced Probe Holder.