PICOSCALE Interferometer für hochpräzise Wegmessung

Hochpräzise Wegmessungen für anspruchsvolle industrielle Anwendungen und Forschungsanwendungen

Das PICOSCALE Interferometer ermöglicht hochpräzise berührungslose Wegmessungen und hilft Ihnen, die Positioniergenauigkeit zu verbessern, kritische Prozesse zu stabilisieren und hochauflösende Messtechnik in anspruchsvolle Umgebungen zu integrieren.

Keine aktiven Komponenten und ein stabiles Laserkonzept zur Unterstützung eines wartungsfreien und zuverlässigen Langzeitbetriebs
Breites Sensorkopfportfolio für Standardanwendungen und anspruchsvolle Anwendungen
- Ultrahochvakuum (UHV), kryogene Temperaturen, Reinraumumgebungen und strahlungsempfindliche Umgebungen
Messung an einer Vielzahl von Zielmaterialien für eine höhere Anwendungsflexibilität
- Geeignet für Spiegel, Retroreflektoren, Metalle, Glas, Wasser und mehr
Hohe Datenraten für Echtzeitmessungen, schnelle Rückkopplungsschleifen und dynamische Bewegungsanalysen
- 10 MHz Abtastrate, 1 m/s Zielgeschwindigkeit
Einfache Integration in Labor-, Industrie- und OEM-Systeme
- Vollständiger Zugriff auf die Anwendungsprogrammierschnittstelle und Echtzeitschnittstellen einschließlich BiSS-C, serieller Daten und AQuadB

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Erfahren Sie, wie PICOSCALE zu Ihrer Anwendung passt

Ob Sie Motion stabilisieren, Positionierer in mehreren Freiheitsgraden charakterisieren oder hochauflösende Messtechnik in ein OEM-System integrieren möchten: PICOSCALE bietet eine zuverlässige berührungslose Lösung für anspruchsvolle Wegmessaufgaben.

Sein kompaktes interferometrisches Design kombiniert Picometerauflösung, hohe Datenraten und breite Umgebungskompatibilität und eignet sich damit sowohl für den Einsatz im Labor als auch in industriellen Anwendungen. Unsere Sensorköpfe bieten Kompatibilität mit anspruchsvollen Umgebungen wie Ultrahochvakuum (UHV), kryogenen Temperaturen, harter Strahlung und Reinräumen.

Zur Unterstützung der OEM-Integration und anwendungsspezifischen Optimierung stellen wir robuste Firmware-Module und eine Auswahl an Zubehör bereit, wodurch seine Position als erstklassiges Laborinstrument weiter gestärkt wird. Das PICOSCALE Interferometer kann zudem als OEM-Komponente integriert werden und bietet kundenspezifische Lösungen für spezialisierte industrielle Anwendungen.

Spezifikationen

	PICOSCALE Interferometer V2
Auflösung und Rauschen	Siehe Spezifikationsblatt
Wiederholgenauigkeit [nm]	1-2
Genauigkeit¹ [m/m]	10^-6
Langzeitstabilität² [nm]	1, siehe Application Note
Max. Datenrate [MHz]	10
Maximale Zielgeschwindigkeit [m/s]	1
Reflektivität des Zielobjekts	4% - 100%
Maximaler Arbeitsabstand [mm]	5000
Abschätzung der absoluten Position	1% des Arbeitsabstands
Echtzeitschnittstellen	BiSS-C, AQuadB, serielle Daten

¹ aufgrund der Wellenlängengenauigkeit

² Arbeitsabstand 20 mm, Umgebungsbedingungen, Messbandbreite 1,2 kHz

Wichtige Anwendungen

Closed-Loop-Positionierung und Bewegungsregelung

Für Anwendungen, die eine stabile Echtzeit-Positionsrückmeldung am relevanten Punkt erfordern.

Charakterisierung und Kalibrierung von 6-DoF-Positionierern

Für die präzise Analyse von X, Y, Z, Nickwinkel, Gierwinkel, Rollwinkel, Rundlauf und Taumelbewegung.

Wafer-Positionierung und Maskenausrichtung

Für Halbleiterprozesse, bei denen die Ausrichtungsqualität Leistung und Ausbeute direkt beeinflusst.

Probenpositionierung für Röntgenmikroskopie

Für hochsensible Aufbauten, die präzise berührungslose Messungen erfordern.

Einpunkt-Schwingungsmessungen

Zur Erfassung schneller und kleiner dynamischer Bewegungen mit hoher zeitlicher Auflösung.

Mietgeräte

Erfahren Sie mehr über den Mietprozess und die verfügbaren Optionen.

Mietgeräte

Mietoptionen

Starten Sie mit geringerem Risiko und schnelleren Ergebnissen
Die Evaluierung einer hochpräzisen Messtechniklösung sollte unkompliziert sein. Mit unserer Mietoption können Sie schnell und mit minimaler Verpflichtung mit PICOSCALE starten. Statt eine sofortige Investition zu tätigen, können Sie das System in Ihrem eigenen Aufbau, unter Ihren eigenen Bedingungen und anhand Ihrer tatsächlichen Anwendungsanforderungen testen.

Funktionsprinzip

Alle PICOSCALE-Produkte basieren auf einem Michelson-Interferometer. Dieser Aufbau misst Wegänderungen, indem das Licht einer kohärenten Lichtquelle, zum Beispiel eines Lasers, in gleiche Anteile aufgeteilt wird. Ein Teil, der Referenzstrahl, wird an einem stationären Referenzspiegel reflektiert. Der andere Teil, der Messstrahl, wird am bewegten Zielobjekt reflektiert. Beide Strahlen werden wieder zusammengeführt. Auf Grundlage der optischen Weglängendifferenz zwischen den beiden Anteilen ändert sich das Interferenzmuster und ermöglicht hochpräzise Wegmessungen mit einem Laser und einfachen optischen Komponenten.

Weitere Informationen zum Michelson-Prinzip und dazu, welche weiteren Verfahren wir zur Steigerung der Empfindlichkeit und Genauigkeit der Methode einsetzen, finden Sie in unserem Technologiebereich.

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Vorteile von Michelson-Interferometern

Michelson-Interferometer bieten außergewöhnliche Präzision und Zuverlässigkeit, indem sie Licht aufteilen und wieder zusammenführen, um kleinste Wegänderungen, Schwingungen und Brechungsänderungen mit Nanometer- oder Subnanometergenauigkeit zu messen. Ihre Vielseitigkeit, ihr berührungsloser Betrieb und ihre Leistungsfähigkeit in anspruchsvollen Umgebungen wie Ultrahochvakuum (UHV) oder kryogenen Temperaturen machen sie unverzichtbar für Anwendungen in der Messtechnik, Optik und anspruchsvollen Forschung.

Mehr über die Vorteile im Vergleich zu anderen Technologien erfahren Sie in diesem Artikel: Vorteile von Michelson-Interferometern im Vergleich zu anderen Architekturen.