SMARFLEX Technologie
SMARFLEX Nanopositionier-Scanner nutzen die Vorteile piezogetriebener Flexantriebe um hochpräzise Positionieraufgaben bis zu mehreren 100 μm Stellweg realisieren. Für Scanning-Anwendungen wie AFM zeichnen sich SMARFLEX Positionierer durch maximale Scangeschwindigkeit und minimalen Scanfehler aus. Auch im Bereich der optischen Mikroskopie können Brennpunkte genau eingestellt, Spiegel sehr präzise gekippt oder Lichtleitfasern eingekoppelt werden.
Die integrierte Positionserfassung ermöglicht eine Positionierung im geschlossenen Regelkreis mit einer Auflösung im Sub-nm-Bereich
Da Flexures reibungsfrei sind, ist keine Wartung von Verschleißteilen erforderlich. Außerdem führt dies zu einer Bewegung mit sehr hoher Wiederholgenauigkeit.
Die Positionierer sind in Versionen aus nichtmagnetischem Material erhältlich.
Aufgrund des geringen Verhältnisses von Masse zu Antriebskraft kann eine hochdynamische Bewegung realisiert werden.
FEM-optimierte Biegungen lenken die Bewegung präzise und reduzieren die Bewegung orthogonal zur vorgesehenen Richtung.
Das Bewegungsprinzip basiert auf hebelverstärkten Piezoaktoren, die eine kontinuierliche und vibrationsfreie Bewegung ermöglichen.
PLF3232-x.60
Scan-Richtung: X
Abmessungen: 32 x 32 x 12 mm
PLF3232-z.60
Scan-Richtung: Z
Abmessungen: 32 x 32 x 15 mm
PLF5252-x.200
Scan-Richtung: X
Abmessungen: 52 x 52 x 15 mm
PLF3232-xy.60
Scan-Richtung: X und Y
Abmessungen: 32 x 32 x 20 mm