SMARFLEX Technologie

SMARFLEX Nanopositionier-Scanner nutzen die Vorteile piezogetriebener Flexantriebe um hochpräzise Positionieraufgaben bis zu mehreren 100 μm Stellweg realisieren. Für Scanning-Anwendungen wie AFM zeichnen sich SMARFLEX Positionierer durch maximale Scangeschwindigkeit und minimalen Scanfehler aus. Auch im Bereich der optischen Mikroskopie können Brennpunkte genau eingestellt, Spiegel sehr präzise gekippt oder Lichtleitfasern eingekoppelt werden.

Hohe Auflösung

Die integrierte Positionserfassung ermöglicht eine Positionierung im geschlossenen Regelkreis mit einer Auflösung im Sub-nm-Bereich

Reibungsfreie Bewegung

Da Flexures reibungsfrei sind, ist keine Wartung von Verschleißteilen erforderlich. Außerdem führt dies zu einer Bewegung mit sehr hoher Wiederholgenauigkeit.

Nichtmagnetische Materialien

Die Positionierer sind in Versionen aus nichtmagnetischem Material erhältlich.

Hochdynamisch

Aufgrund des geringen Verhältnisses von Masse zu Antriebskraft kann eine hochdynamische Bewegung realisiert werden.

Minimierte parasitäre Bewegung

FEM-optimierte Biegungen lenken die Bewegung präzise und reduzieren die Bewegung orthogonal zur vorgesehenen Richtung.

Vibrationsfreie Bewegung

Das Bewegungsprinzip basiert auf hebelverstärkten Piezoaktoren, die eine kontinuierliche und vibrationsfreie Bewegung ermöglichen.

PLF3232-x.60

Scanbereich: > 60 μm
Scan-Richtung: X
Abmessungen: 32 x 32 x 12 mm

PLF3232-z.60

Scanbereich: > 60 μm
Scan-Richtung: Z
Abmessungen: 32 x 32 x 15 mm

PLF5252-x.200

Scanbereich: > 200 μm
Scan-Richtung: X
Abmessungen: 52 x 52 x 15 mm