METIRIO® - Performance
Hauptmerkmale des METIRIO® Encoder:
- Kompakte Größe: 6,6 x 5,1 x 1,7 mm
- Hohe Auflösung: 0,4 nm @ 20 mm / s
- Positioniergeschwindigkeit: bis zu 10 m/s
- UHV-Kompatibilität: bis 10-11 mbar
- Betriebstemperaturbereich: 0 °C – 80 °C
- Raue Umgebungen mit mechanischen Schwingungen
- Kompatibel mit einer Vielzahl von reflektierenden Skalen mit 20 μm Pitch
METIRIO® - Funktionsprinzip
Die integrierte Lichtquelle beleuchtet einen Maßstab, der ein Inkrementalgitter mit 20 µm Teilung und eine Spur mit Referenzmarken zur absoluten Positionierung umfasst. Das reflektierte Licht erzeugt ein Interferenzmuster, das von der Diodenanordnung im Lesekopf erfasst wird. Eine Relativbewegung zwischen der Skala und dem Lesekopf führt zu analogen Sinus- und Kosinussignalen sowie einer TTL-förmigen Referenzmarke.
Miniaturized OEM-Readhead for high Precision Motion Analysis
METIRIO® Anwendungen
Die einzigartige Kombination dieser Eigenschaften macht den Metirio zur idealen Lösung für eine Vielzahl von Branchen. Er wurde bereits erfolgreich in Robotiksystemen, der Halbleiterfertigung, Mikroskopietischen und weiteren Anwendungen implementiert.
Hochauflösende ultrakompakte Bewegungssysteme
Für der Entwicklung ihrer ultrakompakten Piezo-Stick-Slip-Stages brauchte die SmarAct Motion einen hochauflösenden optischen Encoder, der strengen Anforderungen gerecht wird. Auf dem Markt gab es keine Lösung, die gleichzeitig UHV-Kompatibilität (Ultrahochvakuum), Sub-Nanometer-Präzision, niedrigen Energieverbrauch und minimale Baugröße vereinte. Der METIRIO® Optical Encoder wurde speziell entwickelt, um diesen Anforderungen gerecht zu werden – und ist damit die ideale Lösung für anspruchsvolle Einsatzgebiete. Heute werden diese Stages in hochpräzisen Messtechnikanwendungen in Branchen wie der Halbleiterindustrie und den Life Sciences eingesetzt. Diese Vielseitigkeit macht METIRIO® zur ausgezeichneten Wahl für jede anspruchsvolle Anwendung, die kompakte und präzise Bewegungssteuerung erfordert.
Bewegungssysteme in Vakuumkammern oder Elektronenmikroskopen
Der optische Encoder Metirio ist aufgrund seiner ausgasungsfreien Materialien und der kontrollierten Wärmeabgabe die ideale Lösung für Anwendungen im Vakuum. Dies ist besonders vorteilhaft in Umgebungen, die empfindlich auf Verunreinigungen oder thermische Schwankungen reagieren, da eine stabile Betriebstemperatur in solchen Szenarien entscheidend ist. Die integrierte Abschaltfunktion des Metirio ermöglicht ein schnelles Umschalten zwischen Betriebs- und Ruhezustand, wodurch die Wärmeentwicklung in inaktiven Phasen zusätzlich reduziert wird. Dieses präzise Wärmemanagement macht ihn besonders geeignet für Vakuumanwendungen, bei denen eine kontrollierte Temperatur Voraussetzung für die Integrität von Experimenten oder Prozessen ist. Darüber hinaus sorgen die integrierten Entlüftungsschlitze für eine schnelle Evakuierung unter Vakuumbedingungen, was den Metirio zu einer zuverlässigen und effizienten Wahl für Anwendungen mit höchsten Anforderungen an Präzision und Umgebungsbedingungen macht.