Die integrierte Lichtquelle beleuchtet einen Maßstab, der ein Inkrementalgitter mit 20 µm Teilung und eine Spur mit Referenzmarken zur absoluten Positionierung umfasst. Das reflektierte Licht erzeugt ein Interferenzmuster, das von der Diodenanordnung im Lesekopf erfasst wird. Eine Relativbewegung zwischen der Skala und dem Lesekopf führt zu analogen Sinus- und Kosinussignalen sowie einer TTL-förmigen Referenzmarke.

METIRIO® - Leistungs- und Funktionsprinzip

Hauptmerkmale des METIRIO® Encoder:

  • Kompakte Größe: 6,6 x 5,1 x 1,7 mm
  • Hohe Auflösung: 0,4 nm @ 1 m / s
  • Positioniergeschwindigkeit: bis zu 10 m/s
  • UHV-Kompatibilität: bis 10-11 mbar
  • Betriebstemperaturbereich: 0 °C – 80 °C
  • Raue Umgebungen mit mechanischen Schwingungen
  • Kompatibel mit einer Vielzahl von reflektierenden Skalen mit 20 μm Pitch

Miniaturisierter OEM-Read-Head für hochpräzise Bewegungsanalyse

Hauptmerkmale – Anwendung

  • Bewegungssysteme mit geschlossenem Regelkreis
  • Robotik
  • Halbleiterindustrie
  • Messgerät für Wegmesssysteme
  • Hochpräzise Probenabtastung in Life Science und Mikroskopie
  • Hochauflösender 3D-Druck
  • Forschung & Entwicklung