4D 扫描透射电子显微镜

4D 扫描透射电子显微镜（4D-STEM）是表征材料特性的强大工具。

在 4D-STEM 中，聚焦电子束依次扫描电子透明的样品区域。透射电子形成衍射图样，并通过电子敏感相机记录每个扫描点。这可以映射出晶体对称性、晶格参数和应变等特性。它适用于标准扫描电子显微镜，由于其亚纳米级的空间分辨率和高达几平方毫米的大扫描面积，使其成为表征二维材料和悬浮二维范德华异质结构等薄样品的理想选择。

在这项具体实验中，内部开发的系统在扫描电子显微镜中收集了 4D-STEM 数据集。透射衍射平台（TDS）由 SMARPOD 110.45.2 样品平台（用于以 6 个自由度移动样品）、SMARPOD 内部的电子敏感相机、用于 TEM 栅格的可拆卸样品支架以及其他组件组成，包括线性平台（SLC-1750-S-HV）和用于散热的铜组件。

SMARPOD 110.45.2 的规格包括 z 轴（光束方向）的最小可移动范围为 ±5 毫米，x 轴和 y 轴的最小可移动范围为 ±8.0 毫米，围绕 x 轴和 y 轴的最小可移动范围为 ±9.5°。由于实验装置的原因，SMARPOD 的运动范围受到限制。SMARPOD 和线性平台对准确定位样品和调整相机长度（样品与相机之间的距离）至关重要，以确保最佳的样品定位和移动，从而实现高质量和快速的数据采集。

更多信息，请参阅 Johannes Müller 撰写的研究文章《利用低压电子衍射探测二维材料和二维范德华异质结构的结晶度和晶粒结构》。DOI: 10.1002/pssa.202300148