高精度非接触式位移测量High precision contactless measurement of displacements
对于高精度位移测量，SmarAct 提供 PICOSCALE Interferometer。
- 一台仪器中集成 3 个并行的激光探头，可用于 3D 测量
- 测量带宽高达 2.5 MHz，数据采样频率为 10 MHz
- 可在大多数材料上进行测量（塑料、玻璃、金属，甚至水）
- 提供广泛的传感器头，可用于不同应用和环境（包括真空、低温和抗辐射应用）
- 可通过可选模块扩展为完整的实验室测量与控制仪器
- 完整 API，提供编程示例，便于集成
- 经过数百名满意客户验证的性能
Specifications规格
PICOSCALE Interferometer V2
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|---|---|
| 分辨率与噪声 | 参见规格书 |
| 重复精度 [纳米] | <1 |
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精度1[米/米] |
10-6 |
| 长期稳定性2 [纳米] | 1，参见应用说明 |
| 最大数据速率 [兆赫兹] | 10 |
| 目标最大速度 [米/秒] | 1 |
| 目标反射率 | 4% - 100% |
| 最大工作距离 [毫米] | 5000 |
| 绝对位置估计 | 工作距离的 1% |
| 实时接口 | BiSS-C、AquadB、串行数据 |
1 由波长精度引起
2 工作距离 20 毫米，环境条件下，测量带宽 1.2 千赫兹
工作原理
所有 PICOSCALE 产品均基于迈克尔逊干涉仪。该设置通过将相干光源（例如激光器）的光分成相等的部分来测量位移。一部分光，即参考光束，由固定的参考镜反射。另一部分光，即探测光束，由运动目标反射。两束光随后重新合束。基于两部分之间的光程差，干涉图样会发生变化，从而能够使用激光器和简单的光学组件进行高精度位移测量。
您可以访问我们的技术版块，了解有关迈克尔逊原理的更多信息，以及我们采用哪些其他技术来提高该方法的灵敏度和精度。
迈克尔逊干涉仪的优势
迈克尔逊干涉仪通过分光和重合光来测量最小位移、振动和折射率变化，精度达到纳米或亚纳米级，因而具有极高的精度和可靠性。其多功能性、非接触式操作以及在超高真空或低温等苛刻环境中的表现能力，使其成为计量、光学和先进研究领域不可或缺的应用工具。
本文将详细介绍与其他技术相比的优势： 迈克尔逊干涉仪与其他结构相比的优势
精密计量，共同开发
可靠的计量始于对您的应用的理解。SmarAct 与您的团队紧密合作，讨论您的设置、要求和约束条件，并定义–个适合的测量概念。
借助 PICOSCALE 干涉仪，您获得的不仅是一个精密的测量平台。您还将获得一位值得信赖的工程合作伙伴，从首次交流到成功集成都为您提供支持。