XYZ定位系统用于定位干涉仪的探测光束并将其扫描至感兴趣区域。该定位系统围绕三个SmarAct闭环定位器构建，并封装于紧凑型保护外壳内。每个定位器具有20毫米的最大扫描范围和50纳米的重复精度。传感器头安装在最低的定位器上。XYZ定位系统安装在直径25毫米的立柱上，使其高度可轻松调节以适应不同尺寸的样品。甚至可以将定位系统从其安装立柱上拆下，以便将其安装在定制设置中或与另一台仪器结合使用。