XYZ-SLC17:22

Basierend auf drei SLC-1720 Positionierern mit einem Verfahrbereich von je 12 mm, ist das System in der Lage, Nutzlasten von bis zu 1,5 N zu bewältigen.

  • Technical-Drawing_XYZ-SLC17:22
    Dez 11, 2019
  • Step-file_XYZ-SLC17:22
    Dez 11, 2019

Spezifikationen

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Mechanical
Degrees of Freedom 3
Stages used SLC-1720
Travel [mm] 12 (X); 12 (Y); 12 (Z)
Payload [N] 1.5
  Closed-Loop
Closed-Loop
Sensor Resolution MCS2 [nm] 1 (S)
  Breadboard Mount
Breadboard Mount
Dimensions [mm] 65 x 65 x 41 (L x W x H)
Center of vert. Stage above Ground [mm] 30 (24 ... 36)
  Direct Mount
Direct Mount
Dimensions [mm] 34 x 22 x 36 (L x W x H)
Center of vert. Stage above Ground [mm] 25 (19 ... 31)

Zubehör

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