晶圆对齐

在半导体开发和制造的许多步骤中，都需要对加工或测试设备与晶片进行高精度对准。这可以是光刻工艺中的掩膜、用于微型显示器组装的带有微型 LED 阵列的基板或用于晶片测试的探针卡。
SmarAct 提供不同的运动和计量系统，针对不同的对准任务进行优化。示例显示了一个带有 300 毫米晶片的系统，该晶片通过 SmarSHIFT 电磁直接驱动平台进行 XYR 移动，同时 TRIPOD 将探针卡垂直对准晶片的斜面。TRIPOD 内部有三个触觉传感器，用于闭环力控制。此外，TRIPOD 采用超扁平设计，可借助 SmarSHIFT 龙门平台将不同工作距离的显微镜移到感兴趣点上。