Wafer-Ausrichtung
Viele Schritte in der Halbleiterentwicklung und -fertigung erfordern die hochpräzise Ausrichtung eines Bearbeitungs- oder Testgeräts relativ zum Wafer. Dabei kann es sich um eine Maske in einem Photolithographieprozess, ein Substrat mit Micro-LED-Arrays für die Micro-Display-Montage oder eine Sondenkarte für Wafer-Tests handeln.
SmarAct bietet verschiedene Motion- und Messtechnik-Systeme, die für die jeweilige Ausrichtungsaufgabe optimiert sind. Das Beispiel zeigt ein System mit einem 300-mm-Wafer, der durch elektromagnetische Direktantriebs-Positionierer SmarSHIFT in XYR bewegt wird, während ein TRIPOD eine Sondenkarte vertikal relativ zur Neigung des Wafers ausrichtet. Der Ansatz wird durch drei taktile Sensoren im TRIPOD unterstützt, die für die Closed-Loop-Kraftregelung verwendet werden. Darüber hinaus ist das Design des TRIPOD ultraflach, sodass Mikroskope mit unterschiedlichen Arbeitsabständen mithilfe eines SmarSHIFT-Portalpositionierers über den interessierenden Punkt bewegt werden können.
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