纳米级精确深度编码
在一次旨在创建纳米尺度可变深度结构的纳米刻划实验中，SmarAct Metrology公司的METIRIO A1编码器被用于监测和控制一个四自由度压电平台。该平台精确引导金刚石尖端工具沿三个线性轴移动，并围绕Z轴旋转，从而直接制造出嵌套矩形和同心圆等复杂表面图案。
整个过程中，平台在不锈钢、铝和铜表面上沿预设轨迹运行。METIRIO A1编码器以1纳米的动态分辨率提供连续实时位置数据。该反馈使控制系统能根据目标深度和表面几何形状自动调节驱动电压，确保实验全程形成精确一致的结构。
得益于编码器的高分辨率数据与实时响应能力，该平台实现了高度均匀且可重复的纳米结构。系统能即时应对偏差，实现跨材料的动态工艺优化。凭借紧凑设计、卓越精度与无缝集成特性，METIRIO A1为科研与工业领域的先进纳米制造应用提供了强劲解决方案。[1]