压电扫描仪的高分辨率光学位移测量

在本应用说明中，对压电扫描仪的步进进行了验证。在使用光学编码器作为传感器的闭环操作中，采用 PICOSCALE 干涉仪来显示单纳米步进。

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Interferometer

PICOSCALE Interferometer for contactless high precision displacement measurements.

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