用于 µRobotex 平台的 6D 系统
μRobotex 平台是一个专门用于表征和微组装尺寸小于 10 微米的微型/纳米系统的设施[1]。它位于贝桑松国立高等机械与微技术学院（ENSMM），由 FEMTO-ST 研究所的 AS2M 部门管理。
μRobotex 团队要求 SmarAct 为扫描电子显微镜中的工具处理建立一个带位置反馈的 6D 系统。定位系统由两个相互安装的三维子系统组成。前者包括两个 SLC 系列和一个 SLL 系列平台，后者包括两个测角器和一个旋转平台，以便能够在六个自由度内操纵纳米工具。
µRobotex 团队通过自己的实时控制系统指挥定位系统。
