6D-System für die µRobotex-Plattform
Die μRobotex-Plattform ist eine Einrichtung für die Charakterisierung und Mikromontage von Mikro-/Nanosystemen mit Abmessungen unter 10 μm [1]. Sie befindet sich an der École nationale supérieure de mécanique et des microtechniques (ENSMM) in Besançon und wird von der Abteilung AS2M des FEMTO-ST-Instituts betrieben.
Das μRobotex-Team beauftragte SmarAct mit dem Bau eines 6D-Systems mit Positionsrückmeldung für die Werkzeughandhabung in einem Rasterelektronenmikroskop. Das Positioniersystem besteht aus zwei aufeinander montierten 3D-Teilsystemen. Das erste besteht aus zwei Positionierern der SLC-Serie und einem Positionierer der SLL-Serie, das zweite aus zwei Goniometern und einem Rotationspositionierer, um Nano-Werkzeuge in sechs Freiheitsgraden manipulieren zu können.
Das µRobotex-Team steuert das Positioniersystem über ein eigenes Echtzeitsteuerungssystem.
