用于微机电系统的振动测量法

利用红外光源进行共焦成像，可以通过硅封装测量微机电系统的振动。 
SmarAct Metrology 的 PicoScale 震动仪是一种交钥匙解决方案，可用于测量尺寸从几微米到几厘米的微型机械结构的振动。因此，使用红外共聚焦显微镜对各层进行选择性成像成为可能。红外共聚焦显微镜可以测量玻璃和硅等半透明材料以及聚焦时的半透明结构。
平面内运动的成像方法是记录一连串恰好跨越一个振动周期的显微图像，就像频闪成像一样。通过光流算法可以提取小至 10 纳米的平面内振动。