Vibrometrie für MEMS
Das Messen von Schwingungen von MEMS durch ein Packaging aus Silizium hindurch wird durch konfokale Bildgebung mit einer IR-Lichtquelle ermöglicht.
Das PicoScale Vibrometer von SmarAct Metrology ist eine schlüsselfertige Lösung zur Messung von Schwingungen mikromechanischer Strukturen mit Größen von nur wenigen µm bis zu mehreren cm. Dadurch kann die selektive Abbildung von Schichten mit infrarot-konfokaler Mikroskopie ermöglicht werden. Es kann durch halbtransparente Materialien wie Glas und Silizium sowie durch halbtransparente Strukturen messen, wenn diese im Fokus sind.
In-Plane-Bewegung wird durch die Aufnahme einer Sequenz von Mikroskopiebildern abgebildet, die genau einen Schwingungszyklus umfasst, ähnlich der stroboskopischen Bildgebung. In-Plane-Schwingungen bis hinunter zu 10 nm können mithilfe von Optical-Flow-Algorithmen extrahiert werden.
