CGO-77.5 - 角度测量仪平台
所有压电测角平台都基于 SmarAct 的压电驱动技术。测角平台有不同的半径可供选择。除了结构紧凑外,这些平台的刚性也非常好,因此非常适合微米或纳米定位任务。由于使用了高精度交叉滚子轴承,其角度精度非常高。测角平台具有最高的运动分辨率,并且可以直接叠加。通过将两个具有适当半径的平台组合在一起,可以构建一个具有共同旋转中心的紧凑型欧拉测角仪。它们的机械接口与 CLS-52 系列平台完全匹配。因此,可以通过直接组合线性平台、旋转平台和测角平台来创建多轴系统。SmarAct 动态关节角度计平台可由我们的任何控制单元操作,也可集成定位传感器。此外,CGO 系列测角平台还可用于不同的环境条件,如高真空和超高真空环境。
由于 CGO-77.5 配备了可更换的驱动单元,因此可以确保方便地对平台的核心部件进行维修。
技术参数
下载规格表
| 下载规格表 | 机械参数 |
|---|---|
| 机械参数 | |
| 行程 [°] | ± 5 |
| 阻挡扭矩 [Ncm] | 38 |
| 最大法向力 [N] | 5 |
| 尺寸 [mm] | 50 x 50 x 17 |
| 重量 [g] | ~ 140 |
| 旋转中心 [mm] | 77.5 (above working platform) |
| 开环 | |
| 开环 | |
| 角速度 [°/s] | 4 |
| Open-Loop Resolution [µ°] | <1 |
| 闭环 | |
| 闭环 | |
| 传感器类型 | S, L |
| Sensor Resolution [µ°] | 2 (S), 8 (L) |
| Uni-Directional Repeatability MCS2 [µ°] | ± 100 (S,L) |
| 选项 | |
| 选项 | |
| 材料选项 | Aluminum as standard; Steel base (-ST); Titanium base (-TI) |
| 真空选项 | HV (1E-6 mbar); UHV (1E-11 mbar) |
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