CGO-77.5 - 角度测量仪平台

精度高、结构紧凑的测角平台 CGO-77.5 可以直接安装在 CLS-52 线性平台的顶部,或者在与 CGO-60.5 平台组合使用时充当 Eulerian 支架的底座。

所有压电测角平台都基于 SmarAct 的压电驱动技术。测角平台有不同的半径可供选择。除了结构紧凑外,这些平台的刚性也非常好,因此非常适合微米或纳米定位任务。由于使用了高精度交叉滚子轴承,其角度精度非常高。测角平台具有最高的运动分辨率,并且可以直接叠加。通过将两个具有适当半径的平台组合在一起,可以构建一个具有共同旋转中心的紧凑型欧拉测角仪。它们的机械接口与 CLS-52 系列平台完全匹配。因此,可以通过直接组合线性平台、旋转平台和测角平台来创建多轴系统。SmarAct 动态关节角度计平台可由我们的任何控制单元操作,也可集成定位传感器。此外,CGO 系列测角平台还可用于不同的环境条件,如高真空和超高真空环境。

由于 CGO-77.5 配备了可更换的驱动单元,因此可以确保方便地对平台的核心部件进行维修。

技术参数

下载规格表
下载规格表 机械参数
机械参数
行程 [°] ± 5
阻挡扭矩 [Ncm] 38
最大法向力 [N] 5
尺寸 [mm] 50 x 50 x 17
重量 [g] ~ 140
旋转中心 [mm] 77.5 (above working platform)
  开环
开环
角速度 [°/s] 4
Open-Loop Resolution [µ°] <1
  闭环
闭环
传感器类型 S, L
Sensor Resolution [µ°] 2 (S), 8 (L)
Uni-Directional Repeatability MCS2 [µ°] ± 100 (S,L)
  选项
选项
材料选项 Aluminum as standard; Steel base (-ST); Titanium base (-TI)
真空选项 HV (1E-6 mbar); UHV (1E-11 mbar)

下载

  • Technical-Drawing_CGO-77.5
    Apr 09, 2021
  • Step-file_CGO-77.5
    Apr 07, 2021

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