SMARPOD 225.75

SMARPOD 225.75 的底板直径为 225 毫米,在 X 和 Y 方向的行程为 42 毫米。

SMARPOD 225.75 的有效载荷可达 5 N。它是较大型的 SmarAct SMARPOD 之一,X、Y 向移动范围为 42 mm,Z 向移动范围为 24 mm。底板可选配安装柱,用于在 SMARPOD 移动平台附近放置工具、传感器或其他组件。

旋转行程值是以顶板表面为支点给出的。

对于不同的姿势,整个系统的整体尺寸可能会更大。有关详细信息,请参阅下载区中的 CAD 模型。

重复性是在每个系统的顶板上方约 20 毫米处,在全行程范围内,针对单个自由度测量的。较短行程范围内的数值可能会更好。

  重复性

  • Motion System Load Capacity
    Jan 06, 2023
  • Step-file_SmarPod-225.75
    Feb 15, 2023
  • Technical_Drawing_SmarPod_225.75
    Mar 02, 2022
  • Load Capacity Datasheet SmarPod 225.75
    Jul 17, 2024

技术参数

下载规格表
下载规格表 Mechanical
Mechanical
行程 [mm] 42 (X); 42 (Y); 24 (Z)
行程 [°] 24 (Θx); 27 (Θy); 41 (Θz)
最大法向力 [N] 5
最大水平力 [N] 2.5
底板尺寸 [mm] Ø 225
平台离地高度 [mm] 75
重量 [g] 2060
  Closed-Loop
Closed-Loop
传感器类型 SC
最小步进增量 [nm] 1
最小步进增量 [µ°] 3
单向重复性 MCS2 [nm] ± 50
  Options
Options
真空选项 HV (1E-6 mbar); UHV (1E-11 mbar)
非磁性选项 Yes (-NM)

附件

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