技术参数
下载规格表
| 下载规格表 | 机械参数 |
|---|---|
| 机械参数 | |
| 行程 [mm] | 42 (X); 42 (Y); 24 (Z) |
| 行程 [°] | 24 (Θx); 27 (Θy); 41 (Θz) |
| 最大法向力 [N] | 5 |
| Max. Horizontal Force [N] | 2.5 |
| Dimensions Base Plate [mm] | Ø 225 |
| Height of Platform above Ground [mm] | 75 |
| 重量 [g] | 2060 |
| 闭环 | |
| 闭环 | |
| 传感器类型 | SC |
| Smallest Increment [nm] | 1 |
| Smallest Increment [µ°] | 3 |
| 单向重复精度 MCS2 [nm] | ± 50 |
| 选项 | |
| 选项 | |
| 真空选项 | HV (1E-6 mbar); UHV (1E-11 mbar) |
| 非磁性选项 | Yes (-NM) |
应用说明
-
Motion System Load Capacity
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