SMARPOD P-CLL-CLS
SMARPOD P-CLL-CLS 使用 CLS 定位器实现 Y 方向的移动,X 方向则使用 CLL 平台。由于采用了这种不同线性平台的特殊组合,P-CLL-CLS 在 X 方向上可根据需要提供高达 1200 mm 的超大行程范围,同时在 Y 方向上保持较小的占地面积。SMARPOD P-CLL-CLS 完全配备了可更换驱动单元 (EDU),可确保轻松快速地更换压电驱动装置,而无需完全拆卸定位系统。
旋转行程值以顶板表面的支点为基准。
对于不同的姿势,整个系统的整体尺寸可能会更大。有关详细信息,请参阅下载区中的 CAD 模型。
重复性是在每个系统的顶板上方约 20 毫米处,在全行程范围内,针对单个自由度测量的。对于较短的行程范围,数值可能会更好。
如需了解其他尺寸和行程,请随时与我们联系。
技术参数
下载规格表
| 下载规格表 | 机械参数 |
|---|---|
| 机械参数 | |
| 行程 [mm] | 330 (X); 65 (Y); 17 (Z) |
| 行程 [°] | 32 (Θx); 34 (Θy); 30 (Θz) |
| 最大法向力 [N] | 4 |
| Max. Horizontal Force [N] | 2 |
| Dimensions Base Plate [mm] | 554 x 45 |
| Height of Platform above Ground [mm] | 72 |
| 重量 [g] | 2950 |
| 闭环 | |
| 闭环 | |
| 传感器类型 | SC |
| Smallest Increment [nm] | 1 |
| Smallest Increment [µ°] | 3 |
| 单向重复精度 MCS2 [nm] | ± 100 |
| 选项 | |
| 选项 | |
| 真空选项 | HV (1E-6 mbar); UHV (1E-11 mbar) |
| 非磁性选项 | -- |
应用说明
-
Motion System Load Capacity
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