SMARPOD P-CLL-CLS

大型SMARPOD 采用了 CLL 系列的三个滑架,在 X 方向上的移动范围极大,达到 330 毫米。

SMARPOD P-CLL-CLS 使用 CLS 定位器实现 Y 方向的移动,X 方向则使用 CLL 平台。由于采用了这种不同线性平台的特殊组合,P-CLL-CLS 在 X 方向上可根据需要提供高达 1200 mm 的超大行程范围,同时在 Y 方向上保持较小的占地面积。SMARPOD P-CLL-CLS 完全配备了可更换驱动单元 (EDU),可确保轻松快速地更换压电驱动装置,而无需完全拆卸定位系统。

旋转行程值以顶板表面的支点为基准。

对于不同的姿势,整个系统的整体尺寸可能会更大。有关详细信息,请参阅下载区中的 CAD 模型。

重复性是在每个系统的顶板上方约 20 毫米处,在全行程范围内,针对单个自由度测量的。对于较短的行程范围,数值可能会更好。

如需了解其他尺寸和行程,请随时与我们联系。

  • Motion System Load Capacity
    Jan 06, 2023
  • Step-file_SmarPod-P-CLL-CLS
    May 06, 2025
  • Technical-Drawing_SmarPod-P-CLL-CLS
    Apr 17, 2025
  • Load Capacity Datasheet SmarPod P-CLL-CLS
    Jul 17, 2024

技术参数

下载规格表
下载规格表 机械参数
机械参数
行程 [mm] 330 (X); 65 (Y); 17 (Z)
行程 [°] 32 (Θx); 34 (Θy); 30 (Θz)
最大法向力 [N] 4
Max. Horizontal Force [N] 2
Dimensions Base Plate [mm] 554 x 45
Height of Platform above Ground [mm] 72
重量 [g] 2950
  闭环
闭环
传感器类型 SC
Smallest Increment [nm] 1
Smallest Increment [µ°] 3
单向重复精度 MCS2 [nm] ± 100
  选项
选项
真空选项 HV (1E-6 mbar); UHV (1E-11 mbar) 
非磁性选项 --

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